Սիլիցիումի կարբիդ (SiC) միաբյուրեղային նյութն ունի մեծ ժապավենի բացվածքի լայնություն (~Si 3 անգամ), բարձր ջերմահաղորդականություն (~Si 3,3 անգամ կամ GaAs 10 անգամ), էլեկտրոնների հագեցվածության բարձր միգրացիայի արագություն (~Si 2,5 անգամ), բարձր խզման էլեկտրականություն։ դաշտ (~Si 10 անգամ կամ GaAs 5 անգամ) և այլ ակնառու բնութագրիչներ:
SiC սարքերը անփոխարինելի առավելություններ ունեն բարձր ջերմաստիճանի, բարձր ճնշման, բարձր հաճախականության, բարձր հզորության էլեկտրոնային սարքերի և շրջակա միջավայրի ծայրահեղ կիրառությունների ոլորտում, ինչպիսիք են օդատիեզերական, ռազմական, միջուկային էներգիան և այլն, որոնք գործնականում լրացնում են ավանդական կիսահաղորդչային նյութերի սարքերի թերությունները: կիրառությունները և աստիճանաբար դառնում են ուժային կիսահաղորդիչների հիմնական հոսքը:
4H-SiC սիլիցիումի կարբիդի ենթաշերտի բնութագրերը
| Նյութ | Տեխնիկական պայմաններ | |
| Պոլիտիպ | 4H -SiC | 6H- SiC |
| Տրամագիծը | 2 դյույմ | 3 դյույմ | 4 դյույմ | 6 դյույմ | 2 դյույմ | 3 դյույմ | 4 դյույմ | 6 դյույմ |
| Հաստություն | 330 մկմ ~ 350 մկմ | 330 մկմ ~ 350 մկմ |
| Հաղորդունակություն | N – տեսակ / կիսամեկուսացնող | N – տեսակ / կիսամեկուսացնող |
| Դոպանտ | N2 (ազոտ) V (վանադիում) | N2 (ազոտ) V (վանադիում) |
| Կողմնորոշում | <0001> առանցքի վրա | <0001> առանցքի վրա |
| Դիմադրողականություն | 0,015 ~ 0,03 օհմ-սմ | 0,02 ~ 0,1 օհմ-սմ |
| միկրոխողովակների խտություն (MPD) | ≤10/սմ2 ~ ≤1/սմ2 | ≤10/սմ2 ~ ≤1/սմ2 |
| TTV | ≤ 15 մկմ | ≤ 15 մկմ |
| Աղեղ / աղեղ | ≤25 մկմ | ≤25 մկմ |
| Մակերեւութային | DSP/SSP | DSP/SSP |
| Դասարան | Արտադրություն / Հետազոտական աստիճան | Արտադրություն / Հետազոտական աստիճան |
| Բյուրեղների կուտակման հաջորդականությունը | ABCB | ABCABC |
| Ցանցային պարամետր | a=3.076A, c=10.053A | a=3.073A, c=15.117A |
| Eg/eV (Band-gap) | 3,27 էՎ | 3,02 էՎ |
| ε (Դիէլեկտրիկ հաստատուն) | 9.6 | 9.66 |
| Ճեղքման ինդեքս | n0 =2,719 ne = 2,777 | n0 =2.707, ne =2.755 |
6H-SiC սիլիցիումի կարբիդի ենթաշերտի բնութագրերը
| Նյութ | Տեխնիկական պայմաններ |
| Պոլիտիպ | 6H-SiC |
| Տրամագիծը | 4 դյույմ | 6 դյույմ |
| Հաստություն | 350 մկմ ~ 450 մկմ |
| Հաղորդունակություն | N – տեսակ / կիսամեկուսացնող |
| Դոպանտ | N2 (ազոտ) |
| Կողմնորոշում | <0001> զեղչ 4°± 0,5° |
| Դիմադրողականություն | 0,02 ~ 0,1 օհմ-սմ |
| միկրոխողովակների խտություն (MPD) | ≤ 10/սմ2 |
| TTV | ≤ 15 մկմ |
| Աղեղ / աղեղ | ≤25 մկմ |
| Մակերեւութային | Si Face՝ CMP, Epi-Ready |
| Դասարան | Հետազոտական գնահատական |
