Փորագրման գործընթացի մասեր

PSS մշակման կրիչ կիսահաղորդչային վաֆլի փոխանցման համար
Պատվերով կիսահաղորդչային ICP սկուտեղ (փորագրում)
LED փորագրություն Սիլիկոնային կարբիդի կրող սկուտեղ, ICP սկուտեղ (Etch)
Բարձր ջերմաստիճանի և կոռոզիայից դիմացկուն LED սիլիկոնային կարբիդի փորագրման սկուտեղ (ICP փորագրման սկուտեղ)
SiC կրիչ RTP/RTA արագ ջեռուցման ջերմային մշակման համար
SiC փին սկուտեղներ LED արդյունաբերության մեջ ICP փորագրման գործընթացների համար
Սիլիցիումի կարբիդ RTA կրող ափսե կիսահաղորդչի համար
SiC ծածկույթի կրիչներ կիսահաղորդչային փորագրման համար