Սիլիկոնային կարբիդ հորիզոնական նավակի ափսե

Կարճ նկարագրություն:

Semicera-ն տրամադրում է վաֆլի նավակներ, կրող, և մաքսային վաֆլի կրիչներ ուղղահայաց/սյունակային և հորիզոնական կոնֆիգուրացիաների համար:Ընդլայնված կերամիկան ապահովում է գերազանց ջերմակայունություն և պլազմայի դիմացկունություն՝ միաժամանակ նվազեցնելով մասնիկները և աղտոտիչները:Կիսահաղորդչային կարգի սիլիցիումի կարբիդը (SiC) նաև ապահովում է բարձր ջերմաստիճանի ուժ բարձր հզորությամբ վաֆլի կրիչների համար:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Ներկայացնում ենք մեր գերժամանակակից սիլիկոնային կարբիդի հորիզոնական նավակի ափսեը, որը մանրակրկիտ մշակված է կիսահաղորդչային արդյունաբերության վաֆլի մշակման կիրառությունների համար:Սիլիցիումի լավագույն կարբիդից պատրաստված մեր հորիզոնական նավակի ափսեը առանձնանում է իր բարձր ջերմային հատկություններով, քիմիական դիմադրությամբ և մեխանիկական ուժով:Իդեալական բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների համար՝ այս նավակի ափսեը նախագծված է բացառիկ արդյունավետություն ապահովելու համար՝ ապահովելով ճշգրտություն և արդյունավետություն յուրաքանչյուր օգտագործման մեջ:

ԿԱՐԵՎՈՐ մասեր

Բացառիկ ամրություն.Պատրաստված է բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդից, մեր նավակի ափսենախագծված է մինչև ծայրահեղ ջերմաստիճաններին դիմակայելու համար1600 թ°C՝ ապահովելով անզուգական ամրություն և կյանքի տևողությունը:

Ջերմության միասնական բաշխում.Սիլիցիումի կարբիդի ջերմային հաղորդունակությունը ապահովում է ջերմության հավասարաչափ բաշխում ափսեի վրա, ինչը կարևոր է գործընթացի հետևողականությունը պահպանելու և վաֆլի բարձրորակ արտադրության հասնելու համար:

Քիմիական դիմադրություն.Դիմացկուն լինելով քայքայիչ քիմիական նյութերի և կոշտ միջավայրի նկատմամբ՝ մեր նավակի ափսեը պահպանում է ամբողջականությունն ու արդյունավետությունը նույնիսկ կիսահաղորդչային մշակման ամենախստապահանջ կիրառություններում:

Բարձր մեխանիկական ուժ.Ամուր շինարարությունը մերնավակի ափսեերաշխավորում է գերազանց մեխանիկական ուժ և մաշվածության դիմադրություն՝ նվազեցնելով վնասների վտանգը և հաճախակի փոխարինման անհրաժեշտությունը:

Ծրագրեր:

ՄերՍիլիկոնային կարբիդ հորիզոնական նավակի ափսեկատարյալ է կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների լայն շրջանակի համար, ներառյալ, բայց չսահմանափակվելով դիֆուզիոն, օքսիդացում, իոնային իմպլանտացիա և CVD պրոցեսների համար:.Դրա դիզայնը և նյութերը ապահովում են, որ այն կարող է աջակցել վաֆլի մշակման ճշգրիտ պահանջներին՝ դարձնելով այն կիսահաղորդչային արտադրական գծերի կարևոր բաղադրիչ:

Մեր մասին