Նկարագրություն
Կիսահաղորդչային SiC-ով պատված մոնոբյուրեղային սիլիցիումի էպիտաքսիալ սկավառակ կիսակառույցից, նորագույն լուծում, որը նախատեսված է էպիտաքսիալ աճի առաջադեմ գործընթացների համար: Semicera-ն մասնագիտացած է բարձր արդյունավետությամբ սկավառակների արտադրության մեջ, որոնք առաջարկում են գերազանց ջերմային հաղորդունակություն և երկարակեցություն, որոնք իդեալական ենSi EpitaxyևSiC Epitaxy. Այս էպիտաքսիալ սկավառակը, որը պատված է սիլիցիումի կարբիդով (SiC), բարձրացնում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացների արդյունավետությունն ու ճշգրտությունը:
ՄերMOCVD Susceptorհամատեղելի էպիտաքսիալ սկավառակը ապահովում է հետևողական կատարում տարբեր կարգավորումներում, ներառյալ համակարգեր, որոնք պահանջում են PSS Etching Carrier,ICP փորագրումCarrier և RTP Carrier: Այս սկավառակը նախագծված է բավարարելու միաբյուրեղային սիլիցիումի արտադրության բարձր պահանջները՝ այն դարձնելով հարմար LED Epitaxial Susceptor-ի կիրառման և կիսահաղորդիչների աճի այլ գործընթացների համար: Barrel Susceptor-ի և Pancake Susceptor-ի դիզայնն առաջարկում է բազմակողմանիություն արտադրողների համար, մինչդեռ ֆոտոգալվանային մասերի օգտագործումը տարածում է դրա կիրառությունը արևային արդյունաբերության վրա:
Իր ամուր կառուցվածքով այս սկավառակի GaN on SiC Epitaxy-ի հնարավորություններն էլ ավելի են բարձրացնում դրա արժեքը առաջադեմ էպիտաքսիալ համակարգերի համար: Այս լուծումը նախատեսված է հուսալի, բարձրորակ արդյունքներ ապահովելու համար՝ այն դարձնելով կիսահաղորդիչների և ֆոտոգալվանային ժամանակակից արտադրության կարևոր բաղադրիչ:
Հիմնական հատկանիշները
1. Բարձր մաքրության SiC պատված գրաֆիտ
2. Բարձր ջերմային դիմադրություն և ջերմային միատեսակություն
3. ԼավSiC բյուրեղյա պատվածհարթ մակերեսի համար
4. Բարձր դիմացկունություն քիմիական մաքրման դեմ
CVD-SIC ծածկույթների հիմնական բնութագրերը.
| SiC-CVD | ||
| Խտություն | (գ/cc) | 3.21 |
| Ճկման ուժ | (Mpa) | 470 թ |
| Ջերմային ընդլայնում | (10-6/K) | 4 |
| Ջերմային հաղորդունակություն | (W/mK) | 300 |
Փաթեթավորում և առաքում
Մատակարարման ունակություն.
10000 հատ/կտոր ամսական
Փաթեթավորում և առաքում.
Փաթեթավորում: Ստանդարտ և ամուր փաթեթավորում
Պոլի պայուսակ + տուփ + ստվարաթղթե + ծղոտե ներքնակ
Նավահանգիստ:
Նինգբո/Շենժեն/Շանհայ
Առաջատար ժամանակը:
| Քանակ (հատ) | 1-1000 | > 1000 |
| Էստ. Ժամանակ (օր) | 30 | Բանակցելու համար |
