Վաֆլի մշակման թեւհիմնական սարքավորում է, որն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում՝ կարգավորելու, տեղափոխելու և տեղադրելու համարվաֆլիներ. Այն սովորաբար բաղկացած է ռոբոտացված ձեռքից, բռնիչից և կառավարման համակարգից՝ ճշգրիտ շարժման և դիրքավորման հնարավորություններով:Վաֆլի բեռնաթափման զենքերլայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդիչների արտադրության տարբեր օղակներում, ներառյալ գործընթացի քայլերը, ինչպիսիք են վաֆլի բեռնումը, մաքրումը, բարակ թաղանթի նստեցումը, փորագրումը, լիտոգրաֆիան և ստուգումը: Դրա ճշգրտությունը, հուսալիությունը և ավտոմատացման հնարավորությունները էական են արտադրության գործընթացի որակը, արդյունավետությունն ու հետևողականությունն ապահովելու համար:
Վաֆլի մշակման թևի հիմնական գործառույթները ներառում են.
1. Վաֆլի տեղափոխում. վաֆլի մշակման թևն ի վիճակի է ճշգրիտ փոխանցել վաֆլիները մի տեղից մյուսը, օրինակ՝ վաֆլիները պահեստավորման դարակից վերցնելը և դրանք մշակող սարքի մեջ դնելը:
2. Դիրքավորում և կողմնորոշում. վաֆլի մշակման թևը կարող է ճշգրիտ դիրքավորել և կողմնորոշել վաֆլի՝ հետագա մշակման կամ չափման գործողությունների համար ճիշտ հավասարեցում և դիրք ապահովելու համար:
3. Ամրացում և բացում. վաֆլի մշակման ձեռքերը սովորաբար հագեցված են բռնիչներով, որոնք կարող են ապահով կերպով սեղմել վաֆլիները և անհրաժեշտության դեպքում ազատել դրանք՝ ապահովելու վաֆլի անվտանգ տեղափոխումը և մշակումը:
4. Ավտոմատացված կառավարում. վաֆլի մշակման թեւը հագեցած է առաջադեմ կառավարման համակարգով, որը կարող է ավտոմատ կերպով կատարել կանխորոշված գործողությունների հաջորդականությունը, բարելավել արտադրության արդյունավետությունը և նվազեցնել մարդկային սխալները:
Բնութագրերը և առավելությունները
1. Ճշգրիտ չափերը և ջերմային կայունությունը:
2. Բարձր կոնկրետ կոշտություն և գերազանց ջերմային միատեսակություն, երկարաժամկետ օգտագործումը հեշտ չէ թեքել դեֆորմացիան:
3. Այն ունի հարթ մակերես և լավ մաշվածության դիմադրություն, այդպիսով ապահով կերպով վարում է չիպը առանց մասնիկների աղտոտման:
4. Սիլիցիումի կարբիդի դիմադրողականություն 106-108Ω-ով, ոչ մագնիսական, հակա-ESD սպեցիֆիկացիայի պահանջներին համապատասխան; Այն կարող է կանխել չիպի մակերեսի վրա ստատիկ էլեկտրականության կուտակումը։
5. Լավ ջերմային հաղորդակցություն, ցածր ընդլայնման գործակից:
