Վաֆլի ձայներիզ

Նյութեր

Արտադրություն

Հետազոտություն

Կեղծիք

Բյուրեղյա պարամետրեր

Պոլիտիպ

4H

Մակերեւույթի կողմնորոշման սխալ

<11-20 >4±0,15°

Էլեկտրական պարամետրեր

Դոպանտ

n-տիպի ազոտ

Դիմադրողականություն

0,015-0,025ohm·սմ

Մեխանիկական պարամետրեր

Տրամագիծը

150,0±0,2 մմ

Հաստություն

350±25 մկմ

Առաջնային հարթ կողմնորոշում

[1-100]±5°

Առաջնային հարթ երկարություն

47,5±1,5 մմ

Երկրորդական բնակարան

Ոչ մեկը

TTV

≤5 մկմ

≤10 մկմ

≤15 մկմ

LTV

≤3 մկմ (5 մմ*5 մմ)

≤5 մկմ (5 մմ*5 մմ)

≤10 մկմ (5 մմ*5 մմ)

Խոնարհվել

-15 մկմ ~ 15 մկմ

-35 մկմ ~ 35 մկմ

-45 մկմ ~ 45 մկմ

Շեղել

≤35 մկմ

≤45 մկմ

≤55 մկմ

Առջևի (Si-դեմքի) կոշտություն (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Կառուցվածք

Միկրոպողովակների խտությունը

<1 էա/սմ2

<10 էա/սմ2

<15 ea/cm2

Մետաղական կեղտեր

≤5E10 ատոմ/սմ2

NA

BPD

≤1500 էա/սմ2

≤3000 էա/սմ2

NA

TSD

≤500 էա/սմ2

≤1000 էա/սմ2

NA

Առջևի որակ

Ճակատ

Si

Մակերեւույթի ավարտ

Si-face CMP

Մասնիկներ

≤60ea/վաֆլի (չափը≥0,3մկմ)

NA

Քերծվածքներ

≤5էա/մմ. Կուտակային երկարություն ≤Տրամագիծ

Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ

NA

Նարնջի կեղև/փոսեր/բծեր/կտրվածքներ/ ճաքեր/աղտոտվածություն

Ոչ մեկը

NA

Եզրային չիպսեր / անցքեր / կոտրվածք / վեցանկյուն թիթեղներ

Ոչ մեկը

Պոլիտիպային տարածքներ

Ոչ մեկը

Կուտակային տարածք≤20%

Կուտակային տարածք≤30%

Առջևի լազերային նշում

Ոչ մեկը

Վերադառնալ որակ

Հետևի ավարտ

C-դեմքի CMP

Քերծվածքներ

≤5ea/mm,Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ

NA

Հետևի թերություններ (եզրերի չիպսեր/հատումներ)

Ոչ մեկը

Մեջքի կոպտություն

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Հետևի լազերային նշում

1 մմ (վերին եզրից)

Եզր

Եզր

Շամֆեր

Փաթեթավորում

Փաթեթավորում

Epi-ready վակուումային փաթեթավորմամբ

Մուլտի վաֆլի կասետային փաթեթավորում

*Ծանոթագրություններ. «NA» նշանակում է ոչ մի հարցում: Չնշված կետերը կարող են վերաբերել ԿԻՍԱՍՊԱՍ-ին: