MEMS-ի մշակում - կապակցում. կիրառում և կատարում կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ, կիսահաղորդչային անհատականացված ծառայություն
Միկրոէլեկտրոնիկայի և կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ MEMS (միկրոէլեկտրամեխանիկական համակարգեր) տեխնոլոգիան դարձել է այն հիմնական տեխնոլոգիաներից մեկը, որը խթանում է նորարարությունը և բարձր արդյունավետության սարքավորումները: Գիտության և տեխնոլոգիայի առաջընթացի հետ մեկտեղ MEMS տեխնոլոգիան լայնորեն օգտագործվել է սենսորների, ակտուատորների, օպտիկական սարքերի, բժշկական սարքավորումների, ավտոմոբիլային էլեկտրոնիկայի և այլ ոլորտներում և աստիճանաբար դարձել ժամանակակից տեխնոլոգիայի անփոխարինելի մասը: Այս ոլորտներում կապակցման գործընթացը (Bonding), որպես MEMS մշակման առանցքային քայլ, կենսական դեր է խաղում սարքի աշխատանքի և հուսալիության մեջ:
Bonding-ը տեխնոլոգիա է, որն ամուր կերպով համատեղում է երկու կամ ավելի նյութեր ֆիզիկական կամ քիմիական միջոցներով: Սովորաբար, տարբեր նյութերի շերտերը պետք է միացվեն MEMS սարքերի միացման միջոցով՝ կառուցվածքային ամբողջականության և ֆունկցիոնալ իրականացման հասնելու համար: MEMS սարքերի արտադրության գործընթացում կապը ոչ միայն միացման գործընթաց է, այլև ուղղակիորեն ազդում է սարքի ջերմային կայունության, մեխանիկական ուժի, էլեկտրական կատարողականության և այլ ասպեկտների վրա:
Բարձր ճշգրտության MEMS մշակման ժամանակ միացման տեխնոլոգիան պետք է ապահովի նյութերի միջև սերտ կապը՝ միաժամանակ խուսափելով սարքի աշխատանքի վրա ազդող ցանկացած թերությունից: Հետևաբար, միացման գործընթացի ճշգրիտ վերահսկումը և բարձրորակ կապող նյութերը հիմնական գործոններն են, որոնք ապահովում են վերջնական արտադրանքի համապատասխանությունը արդյունաբերության չափանիշներին:
MEMS կապող կիրառություններ կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ MEMS տեխնոլոգիան լայնորեն օգտագործվում է միկրո սարքերի արտադրության մեջ, ինչպիսիք են սենսորները, արագացուցիչները, ճնշման սենսորները և գիրոսկոպները: Մանրացված, ինտեգրված և խելացի արտադրանքների աճող պահանջարկի հետ մեկտեղ MEMS սարքերի ճշգրտության և կատարողականի պահանջները նույնպես մեծանում են: Այս ծրագրերում կապակցման տեխնոլոգիան օգտագործվում է տարբեր նյութերի միացման համար, ինչպիսիք են սիլիկոնային վաֆլիները, ապակին, մետաղները և պոլիմերները՝ արդյունավետ և կայուն գործառույթներ ապահովելու համար:
1. Ճնշման սենսորներ և արագաչափեր
Ավտոմեքենաների, օդատիեզերական, սպառողական էլեկտրոնիկայի և այլնի ոլորտներում MEMS ճնշման տվիչները և արագաչափերը լայնորեն կիրառվում են չափման և կառավարման համակարգերում։ Միացման գործընթացը օգտագործվում է սիլիկոնային չիպերի և սենսորային տարրերի միացման համար՝ բարձր զգայունություն և ճշգրտություն ապահովելու համար: Այս սենսորները պետք է կարողանան դիմակայել շրջակա միջավայրի ծայրահեղ պայմաններին, և բարձրորակ կապակցման գործընթացները կարող են արդյունավետորեն կանխել նյութերի անջատումը կամ անսարքությունը ջերմաստիճանի փոփոխությունների պատճառով:
2. Միկրոօպտիկական սարքեր և MEMS օպտիկական անջատիչներ
Օպտիկական կապի և լազերային սարքերի ոլորտում կարևոր դեր են խաղում MEMS օպտիկական սարքերը և օպտիկական անջատիչները։ Կապակցման տեխնոլոգիան օգտագործվում է սիլիցիումի վրա հիմնված MEMS սարքերի և նյութերի, ինչպիսիք են օպտիկական մանրաթելերն ու հայելիները ճշգրիտ կապի հասնելու համար՝ ապահովելու օպտիկական ազդանշանի հաղորդման արդյունավետությունն ու կայունությունը: Հատկապես բարձր հաճախականությամբ, լայն թողունակությամբ և միջքաղաքային հաղորդման կիրառություններում, բարձր արդյունավետությամբ կապակցման տեխնոլոգիան շատ կարևոր է:
3. MEMS գիրոսկոպներ և իներցիոն սենսորներ
MEMS գիրոսկոպները և իներցիոն սենսորները լայնորեն օգտագործվում են ճշգրիտ նավարկության և դիրքավորման համար բարձրակարգ արդյունաբերություններում, ինչպիսիք են ինքնավար մեքենա վարելը, ռոբոտաշինությունը և օդատիեզերական աշխատանքը: Բարձր ճշգրտության միացման գործընթացները կարող են ապահովել սարքերի հուսալիությունը և խուսափել արդյունավետության վատթարացումից կամ ձախողումից երկարաժամկետ շահագործման կամ բարձր հաճախականությամբ շահագործման ընթացքում:
MEMS մշակման մեջ կապող տեխնոլոգիայի հիմնական կատարողական պահանջները
MEMS մշակման ժամանակ կապակցման գործընթացի որակը ուղղակիորեն որոշում է սարքի աշխատանքը, կյանքը և կայունությունը: Ապահովելու համար, որ MEMS սարքերը կարող են երկար ժամանակ հուսալի աշխատել կիրառական տարբեր սցենարներում, կապող տեխնոլոգիան պետք է ունենա հետևյալ հիմնական կատարումը.
1. Բարձր ջերմային կայունություն
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության շատ կիրառական միջավայրեր ունեն բարձր ջերմաստիճանի պայմաններ, հատկապես ավտոմեքենաների, օդատիեզերական ոլորտում և այլն: Կապող նյութի ջերմային կայունությունը կարևոր է և կարող է դիմակայել ջերմաստիճանի փոփոխություններին առանց քայքայման կամ ձախողման:
2. Բարձր մաշվածության դիմադրություն
MEMS սարքերը սովորաբար ներառում են միկրո-մեխանիկական կառուցվածքներ, և երկարատև շփումը և շարժումը կարող են առաջացնել կապի մասերի մաշվածություն: Կպչող նյութը պետք է ունենա գերազանց մաշվածության դիմադրություն՝ երկարաժամկետ օգտագործման դեպքում սարքի կայունությունն ու արդյունավետությունն ապահովելու համար:
3. Բարձր մաքրություն
Կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը շատ խիստ պահանջներ ունի նյութի մաքրության վերաբերյալ: Ցանկացած փոքր աղտոտիչ կարող է առաջացնել սարքի խափանում կամ աշխատանքի վատթարացում: Հետևաբար, միացման գործընթացում օգտագործվող նյութերը պետք է ունենան չափազանց բարձր մաքրություն՝ ապահովելու համար, որ սարքը շահագործման ընթացքում արտաքին աղտոտվածությունից չազդի:
4. Ճշգրիտ կապի ճշգրտություն
MEMS սարքերը հաճախ պահանջում են միկրոն մակարդակի կամ նույնիսկ նանոմետրի մակարդակի մշակման ճշգրտություն: Միացման գործընթացը պետք է ապահովի նյութի յուրաքանչյուր շերտի ճշգրիտ ամրացումը, որպեսզի ապահովվի, որ սարքի գործառույթն ու կատարումը չեն ազդի:
Անոդիկ կապ
Անոդային կապ.
● Կիրառելի է սիլիկոնային վաֆլիների և ապակու, մետաղի և ապակու, կիսահաղորդիչների և համաձուլվածքի, կիսահաղորդիչների և ապակու միջև կապելու համար
Էվեկտոիդ կապ.
● Կիրառելի է այնպիսի նյութերի համար, ինչպիսիք են PbSn, AuSn, CuSn և AuSi
Սոսինձի միացում.
● Օգտագործեք հատուկ միացնող սոսինձ, որը հարմար է հատուկ միացնող սոսինձների համար, ինչպիսիք են AZ4620 և SU8
● Կիրառելի է 4 դյույմ և 6 դյույմ անկյունների համար
Semicera Custom Bonding Service
Որպես MEMS մշակման լուծումների արդյունաբերության առաջատար մատակարար, Semicera-ն պարտավորվում է հաճախորդներին տրամադրել բարձր ճշգրտության, բարձր կայունության հարմարեցված կապի ծառայություններ: Մեր կապակցման տեխնոլոգիան կարող է լայնորեն օգտագործվել տարբեր նյութերի, այդ թվում՝ սիլիցիումի, ապակու, մետաղի, կերամիկայի և այլն միացնելու համար՝ ապահովելով նորարարական լուծումներ կիսահաղորդչային և MEMS ոլորտներում բարձրակարգ կիրառությունների համար:
Semicera-ն ունի առաջադեմ արտադրական սարքավորումներ և տեխնիկական թիմեր և կարող է տրամադրել հարմարեցված կապող լուծումներ՝ ըստ հաճախորդների հատուկ կարիքների: Անկախ նրանից, թե դա հուսալի միացում է բարձր ջերմաստիճանի և բարձր ճնշման միջավայրում, թե ճշգրիտ միկրոսարքի միացում, Semicera-ն կարող է բավարարել տարբեր բարդ գործընթացի պահանջներ՝ ապահովելու համար, որ յուրաքանչյուր ապրանք կարող է համապատասխանել որակի ամենաբարձր չափանիշներին:
Մեր պատվերով կապակցման ծառայությունը չի սահմանափակվում սովորական կապակցման պրոցեսներով, այլ նաև ներառում է մետաղի միացում, ջերմային սեղմումով կապակցում, սոսինձ կապում և այլ գործընթացներ, որոնք կարող են մասնագիտական տեխնիկական աջակցություն տրամադրել տարբեր նյութերի, կառուցվածքների և կիրառման պահանջներին: Բացի այդ, Semicera-ն կարող է նաև հաճախորդներին տրամադրել ամբողջական ծառայություն՝ նախատիպի մշակումից մինչև զանգվածային արտադրություն՝ ապահովելու, որ հաճախորդների յուրաքանչյուր տեխնիկական պահանջը կարող է ճշգրիտ իրականացվել:
