Տանտալի կարբիդով պատված ընկալիչի օժանդակ ափսեընկալիչ կամ օժանդակ կառուցվածք է, որը ծածկված է բարակ շերտովտանտալի կարբիդ. Այս ծածկույթը կարող է ձևավորվել ընկալիչի մակերեսի վրա այնպիսի մեթոդներով, ինչպիսիք են ֆիզիկական գոլորշիների նստեցումը (PVD) կամ քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD), ինչը ընկալիչին տալիս է բարձր հատկություններ:տանտալի կարբիդ.
Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տարիների զարգացումից հետո Semicera-ն նվաճեց տեխնոլոգիանCVD TaCգիտահետազոտական բաժնի համատեղ ջանքերով։ SiC վաֆլիների աճի գործընթացում թերությունները հեշտ են առաջանում, բայց օգտագործելուց հետոTaC, տարբերությունը զգալի է։ Ստորև ներկայացված է վաֆլիների համեմատությունը TaC-ով և առանց TaC-ի, ինչպես նաև Simicera' մասերի մեկ բյուրեղային աճի համար:
Տանտալի կարբիդով ծածկված հիմքի աջակցության թիթեղների հիմնական առանձնահատկությունները ներառում են.
1. Բարձր ջերմաստիճանի կայունություն. տանտալի կարբիդն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանի կայունություն, ինչը ծածկված հիմքի ափսեը դարձնում է հարմար բարձր ջերմաստիճանի աշխատանքային միջավայրերում աջակցության կարիքների համար:
2. Կոռոզիայից դիմադրություն. տանտալի կարբիդային ծածկույթն ունի լավ կոռոզիոն դիմադրություն, կարող է դիմակայել քիմիական կոռոզիային և օքսիդացմանը և երկարացնել բազայի ծառայության ժամկետը:
3. Բարձր կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. տանտալի կարբիդի ծածկույթի բարձր կարծրությունը բազային աջակցության ափսեին տալիս է լավ մաշվածության դիմադրություն, որը հարմար է այն դեպքերի համար, որոնք պահանջում են բարձր մաշվածության դիմադրություն:
4. Քիմիական կայունություն. տանտալի կարբիդը բարձր կայունություն ունի տարբեր քիմիական նյութերի նկատմամբ, ինչը թույլ է տալիս ծածկված հիմքի ափսեը լավ գործել որոշ քայքայիչ միջավայրերում:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար սպասարկման ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
