Տանտալի կարբիդով պատված ընկալիչի օժանդակ ափսեընկալիչ կամ օժանդակ կառուցվածք է, որը ծածկված է բարակ շերտովտանտալի կարբիդ. Այս ծածկույթը կարող է ձևավորվել ընկալիչի մակերեսի վրա այնպիսի մեթոդներով, ինչպիսիք են ֆիզիկական գոլորշիների նստեցումը (PVD) կամ քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD), ինչը ընկալիչին տալիս է բարձր հատկություններ:տանտալի կարբիդ.
Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տարիների զարգացումից հետո Semicera-ն նվաճեց տեխնոլոգիանCVD TaCգիտահետազոտական բաժնի համատեղ ջանքերով։ SiC վաֆլիների աճի գործընթացում թերությունները հեշտ են առաջանում, բայց օգտագործելուց հետոTaC, տարբերությունը զգալի է։ Ստորև ներկայացված է վաֆլիների համեմատությունը TaC-ով և առանց TaC-ի, ինչպես նաև Simicera' մասերի մեկ բյուրեղային աճի համար:
Տանտալի կարբիդով ծածկված հիմքի աջակցության թիթեղների հիմնական առանձնահատկությունները ներառում են.
1. Բարձր ջերմաստիճանի կայունություն. տանտալի կարբիդն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանի կայունություն՝ պատված հիմքի աջակցության ափսեը դարձնելով հարմար բարձր ջերմաստիճանի աշխատանքային միջավայրերում աջակցության կարիքների համար:
2. Կոռոզիայից դիմադրություն. տանտալի կարբիդային ծածկույթն ունի լավ կոռոզիոն դիմադրություն, կարող է դիմակայել քիմիական կոռոզիային և օքսիդացմանը և երկարացնել բազայի ծառայության ժամկետը:
3. Բարձր կարծրություն և մաշվածության դիմադրություն. տանտալի կարբիդի ծածկույթի բարձր կարծրությունը բազային աջակցության ափսեին տալիս է լավ մաշվածության դիմադրություն, որը հարմար է այն դեպքերի համար, որոնք պահանջում են բարձր մաշվածության դիմադրություն:
4. Քիմիական կայունություն. տանտալի կարբիդը բարձր կայունություն ունի մի շարք քիմիական նյութերի նկատմամբ, ինչը թույլ է տալիս ծածկված հիմքի ափսեը լավ գործել որոշ քայքայիչ միջավայրերում:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար ծառայության ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
