Տանտալի կարբիդով պատված գրաֆիտի թերթգրաֆիտային նյութ է՝ բարակ շերտովտանտալի կարբիդենթաշերտի մակերեսին. Տանտալի կարբիդի բարակ շերտը սովորաբար ձևավորվում է գրաֆիտի ենթաշերտի մակերեսի վրա այնպիսի մեթոդներով, ինչպիսիք են ֆիզիկական գոլորշիների նստեցումը (PVD) կամ քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD): Այս ծածկույթն ունի գերազանց հատկություններ, ինչպիսիք են բարձր կարծրություն, գերազանց մաշվածության դիմադրություն, կոռոզիոն դիմադրություն և բարձր ջերմաստիճանի կայունություն:
Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տարիների զարգացումից հետո Semicera-ն նվաճեց տեխնոլոգիանCVD TaCգիտահետազոտական բաժնի համատեղ ջանքերով։ SiC վաֆլիների աճի գործընթացում թերությունները հեշտ են առաջանում, բայց օգտագործելուց հետոTaC, տարբերությունը զգալի է։ Ստորև ներկայացված է վաֆլիների համեմատությունը TaC-ով և առանց TaC-ի, ինչպես նաև Simicera' մասերի մեկ բյուրեղային աճի համար:
Տանտալի կարբիդով ծածկված գրաֆիտի թերթիկի հիմնական առավելությունները ներառում են.
1. Բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն. տանտալի կարբիդն ունի բարձր հալման կետ և գերազանց բարձր ջերմաստիճանի կայունություն, ինչը պատված գրաֆիտի թերթիկը դարձնում է բարձր ջերմաստիճանի միջավայրում օգտագործելու համար:
2. Կոռոզիայից դիմադրություն. տանտալի կարբիդի ծածկույթը կարող է դիմակայել բազմաթիվ քիմիական քայքայիչ նյութերի էրոզիային և երկարացնել նյութի ծառայության ժամկետը:
3. Բարձր կարծրություն. տանտալի կարբիդի բարակ շերտի բարձր կարծրությունը ապահովում է լավ մաշվածության դիմադրություն և հարմար է բարձր մաշվածության դիմադրություն պահանջող ծրագրերի համար:
4. Քիմիական կայունություն. տանտալի կարբիդային ծածկույթն ունի հիանալի կայունություն քիմիական կոռոզիայի նկատմամբ և հարմար է որոշ քայքայիչ միջավայրերում օգտագործելու համար:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար սպասարկման ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
