ԿիսամյակներTaC Coating Chuck, նորագույն վակուումային Chuck, որը հագեցած էTaC ծածկույթներ, հատուկ նախագծված կիսահաղորդչային վառարանների համար: Կիսահաղորդիչների արտադրության ժամանակակից գործընթացների խիստ պահանջները բավարարելու համար այս նորարարական տեխնոլոգիան սահմանում է ճշգրտության, հուսալիության և երկարակեցության նոր չափանիշ:
Կիսահաղորդիչների արտադրության հիմքում ընկած է մշակման ընթացքում ճշգրիտ հսկողության և կայունության կարևոր անհրաժեշտությունը: TaC Coating Chuck-ը լուծում է այս կարիքը՝ ինտեգրելով առաջադեմըTaC (տանտալի կարբիդ) ծածկույթներիր մակերեսին՝ ապահովելով բացառիկ ջերմային կայունություն, ամրություն և դիմադրություն քիմիական կոռոզիայից: Նյութերի այս եզակի համադրությունը ոչ միայն բարձրացնում է խարույկի աշխատանքը, այլև երկարացնում է դրա շահագործման ժամկետը՝ ապահովելով հետևողական արդյունքներ անթիվ ցիկլերի ընթացքում:
TaC Coating Chuck-ի հիմնական առավելություններից մեկը վակուումային ամբողջականության բարձր մակարդակ պահպանելու կարողությունն է ամբողջ մշակման ցիկլի ընթացքում: Արդյունավետորեն նվազագույնի հասցնելով արտահոսքը և աղտոտումը, այս տեխնոլոգիան ապահովում է կիսահաղորդչային նյութերի մաքրությունը և որակը, ինչը հանգեցնում է սարքի բարձր արդյունավետության և հուսալիության:
Ավելին, TaC Coating Chuck-ն առաջարկում է անզուգական բազմակողմանիություն՝ տեղավորելով կիսահաղորդչային սուբստրատների լայն տեսականի՝ տարբեր չափերով և երկրաչափություններով: TaC Coating Chuck-ի հարմարեցված դիզայնը թույլ է տալիս անխափան ինտեգրվել առկա կիսահաղորդչային վառարանների համակարգերին՝ նվազագույնի հասցնելով պարապուրդի ժամանակը և առավելագույնի հասցնելով արտադրողականությունը:
TaC Coating Chuck-ի միջոցով կիսահաղորդիչների արտադրողները կարող են հասնել ավելի բարձր թողունակության, բարելավված եկամտաբերության և ընդհանուր ծախսերի կրճատման: Անկախ նրանից, թե հետազոտական լաբորատորիաներում, թե մեծածավալ արտադրական օբյեկտներում, այս առաջադեմ տեխնոլոգիան հնարավորություն է տալիս կիսահաղորդչային մասնագետներին առաջ մղել նորարարության սահմանները՝ պահպանելով որակի խիստ չափանիշները:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար ծառայության ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
