Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տանտալի կարբիդով պատված վաֆլի կրիչները լայնորեն օգտագործվում են վաֆլի մշակման և կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում մշակման գործընթացներում: Նրանք ապահովում են կայուն աջակցություն և պաշտպանություն՝ ապահովելու վաֆլիների անվտանգությունը, ճշգրտությունը և հետևողականությունը արտադրական գործընթացի ընթացքում: Տանտալի կարբիդային ծածկույթները կարող են երկարացնել կրիչի ծառայության ժամկետը, նվազեցնել ծախսերը և բարելավել կիսահաղորդչային արտադրանքի որակն ու հուսալիությունը:
Տանտալի կարբիդով պատված վաֆլի կրիչի նկարագրությունը հետևյալն է.
1. Նյութի ընտրություն. տանտալի կարբիդը գերազանց կատարողականությամբ, բարձր կարծրությամբ, բարձր հալման կետով, կոռոզիոն դիմադրությամբ և գերազանց մեխանիկական հատկություններով նյութ է, ուստի այն լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում:
2. Մակերեւութային ծածկույթ. տանտալի կարբիդային ծածկույթը կիրառվում է վաֆլի կրիչի մակերեսի վրա հատուկ ծածկույթի գործընթացի միջոցով՝ ձևավորելու միատարր և խիտ տանտալ կարբիդի ծածկույթ: Այս ծածկույթը կարող է ապահովել լրացուցիչ պաշտպանություն և մաշվածության դիմադրություն՝ միաժամանակ ունենալով լավ ջերմային հաղորդակցություն:
3. Հարթություն և ճշգրտություն. տանտալի կարբիդով պատված վաֆլի կրիչը ունի հարթության և ճշգրտության բարձր աստիճան՝ ապահովելով վաֆլիների կայունությունն ու ճշգրտությունը արտադրության գործընթացում: Կրող մակերեսի հարթությունն ու հարդարումը չափազանց կարևոր են վաֆլի որակն ու կատարումն ապահովելու համար:
4. Ջերմաստիճանի կայունություն. տանտալի կարբիդով պատված վաֆլի կրիչները կարող են կայունություն պահպանել բարձր ջերմաստիճանի միջավայրերում՝ առանց դեֆորմացիայի կամ թուլացման՝ ապահովելով վաֆլիների կայունությունն ու հետևողականությունը բարձր ջերմաստիճանի գործընթացներում:
5. Կոռոզիայից դիմադրություն. տանտալի կարբիդային ծածկույթներն ունեն հիանալի կոռոզիոն դիմադրություն, կարող են դիմակայել քիմիական նյութերի և լուծիչների էրոզիային և պաշտպանել կրիչը հեղուկ և գազային կոռոզիայից:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար ծառայության ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
