TaC Coated Plate-ը մասնագիտացված սկավառակ է, որը նախատեսված է SiC էպիտաքսիալ պրոցեսներում օգտագործելու համար՝ պատրաստված բարձրորակ գրաֆիտից ճշգրտությամբ: Դրա մակերեսը մանրակրկիտ պատված է տանտալի կարբիդով (TaC), որը հայտնի է իր բացառիկ մաքրությամբ և ուժով: TaC ծածկույթը բարձրացնում է ափսեի դիմացկունությունը և դիմադրությունը բարձր ջերմաստիճանների նկատմամբ՝ այն դարձնելով իդեալական SiC էպիտաքսիալ պրոցեսների պահանջկոտ պայմանների համար:
Այս նորարարական TaC Coated Plate-ը մասնագիտացված սկավառակ է, որը նախատեսված է SiC էպիտաքսիալ պրոցեսներում օգտագործելու համար՝ պատրաստված բարձրորակ գրաֆիտի նյութից ճշգրտությամբ: TaC Coated Plate մակերեսը մանրակրկիտ պատված է տանտալի կարբիդով (TaC), որը հայտնի է իր բացառիկ մաքրությամբ և ամրությամբ: ծառայում է որպես հուսալի հարթակ վաֆլի կրելու համար SiC էպիտաքսիալ աճի տարբեր փուլերում: Նրա բարձր մաքրության գրաֆիտային հիմքը ապահովում է կայուն և իներտ մակերես, մինչդեռ TaC ծածկույթը ավելացնում է լրացուցիչ պաշտպանություն քիմիական ռեակցիաներից և մաշվածությունից:
ԿիսամյակայինդարաշրջանTaC Coated Plate-ը հարմարեցված է հաճախորդների հատուկ պահանջներին համապատասխան՝ ապահովելով օպտիմալ կատարում և համատեղելիություն իրենց SiC էպիտաքսիալ համակարգերի հետ: Անկախ նրանից, թե դրանք չափսեր են, ձև կամ այլ բնութագրեր, այս թիթեղները հարմարեցված են յուրաքանչյուր հավելվածի եզակի կարիքները բավարարելու համար:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար ծառայության ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
