CVD TaC ծածկույթ

CVD TaC ծածկույթի ներածություն:

CVD TaC Coating-ը տեխնոլոգիա է, որն օգտագործում է քիմիական գոլորշիների նստեցում՝ հիմքի մակերեսի վրա տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթը տեղադրելու համար: Տանտալի կարբիդը բարձր արտադրողականությամբ կերամիկական նյութ է՝ գերազանց մեխանիկական և քիմիական հատկություններով: CVD գործընթացը առաջացնում է միատեսակ TaC թաղանթ ենթաշերտի մակերեսի վրա գազի ռեակցիայի միջոցով:

Հիմնական հատկանիշները:

Գերազանց կարծրություն և մաշվածության դիմադրությունՏանտալի կարբիդն ունի չափազանց բարձր կարծրություն, և CVD TaC ծածկույթը կարող է զգալիորեն բարելավել ենթաշերտի մաշվածության դիմադրությունը: Սա ծածկույթն իդեալական է դարձնում բարձր մաշվածության միջավայրում կիրառելու համար, ինչպիսիք են կտրող գործիքները և կաղապարները:

Բարձր ջերմաստիճանի կայունությունTaC ծածկույթները պաշտպանում են վառարանի և ռեակտորի կարևոր բաղադրիչները մինչև 2200°C ջերմաստիճանի դեպքում՝ ցույց տալով լավ կայունություն: Այն պահպանում է քիմիական և մեխանիկական կայունությունը ծայրահեղ ջերմաստիճանի պայմաններում, ինչը հարմար է դարձնում բարձր ջերմաստիճանի մշակման և բարձր ջերմաստիճանի միջավայրերում կիրառման համար:

Գերազանց քիմիական կայունությունՏանտալի կարբիդն ունի ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն թթուների և ալկալիների մեծ մասի նկատմամբ, և CVD TaC ծածկույթը կարող է արդյունավետորեն կանխել ենթաշերտի վնասումը քայքայիչ միջավայրում:

Բարձր հալման կետՏանտալի կարբիդն ունի բարձր հալման կետ (մոտ 3880°C), ինչը թույլ է տալիս CVD TaC ծածկույթն օգտագործել ծայրահեղ բարձր ջերմաստիճանի պայմաններում՝ առանց հալվելու կամ քայքայվելու:

Գերազանց ջերմային հաղորդունակությունTaC ծածկույթն ունի բարձր ջերմային հաղորդունակություն, որն օգնում է արդյունավետորեն ցրել ջերմությունը բարձր ջերմաստիճանի գործընթացներում և կանխել տեղային գերտաքացումը:

Հնարավոր հավելվածներ:

• Գալիումի նիտրիդ (GaN) և սիլիցիումի կարբիդի էպիտաքսիալ CVD ռեակտորի բաղադրիչներ, ներառյալ վաֆլի կրիչներ, արբանյակային սպասք, ցնցուղի գլխիկներ, առաստաղներ և ընկալիչներ

• Սիլիցիումի կարբիդ, գալիումի նիտրիդ և ալյումինի նիտրիդ (AlN) բյուրեղների աճեցման բաղադրիչներ, ներառյալ կարասները, սերմերի պահարանները, ուղեցույցի օղակները և ֆիլտրերը

• Արդյունաբերական բաղադրամասեր, ներառյալ դիմադրողական ջեռուցման տարրերը, ներարկման վարդակները, դիմակավոր օղակները և եռակցման ճարմանդները

Դիմումի առանձնահատկությունները:

• Ջերմաստիճանը կայուն է 2000°C-ից բարձր, ինչը թույլ է տալիս աշխատել ծայրահեղ ջերմաստիճաններում
• Դիմացկուն է ջրածնի (Hz), ամոնիակի (NH3), մոնոսիլանի (SiH4) և սիլիցիումի (Si) նկատմամբ՝ ապահովելով պաշտպանություն կոշտ քիմիական միջավայրում
• Նրա ջերմային ցնցումների դիմադրությունը թույլ է տալիս ավելի արագ գործառնական ցիկլեր
• Գրաֆիտն ունի ուժեղ կպչունություն՝ ապահովելով երկար սպասարկման ժամկետ և առանց ծածկույթի շերտազատման:
• Գերբարձր մաքրություն՝ ավելորդ կեղտերը կամ աղտոտիչները վերացնելու համար
• Համապատասխան ծածկույթի ծածկույթ մինչև չափերի ամուր հանդուրժողականություն

Տեխնիկական բնութագրեր:

Խիտ տանտալ կարբիդային ծածկույթների պատրաստում CVD-ով: