Տանտալի կարբիդով (TaC) պատված ընկալիչ էպիտաքսիայի սարքավորման համար

Կարճ նկարագրություն.

Գրաֆիտը գերազանց բարձր ջերմաստիճանի նյութ է, բայց այն հեշտությամբ օքսիդանում է բարձր ջերմաստիճանում: Նույնիսկ իներտ գազով վակուումային վառարաններում այն ​​դեռ կարող է դանդաղ օքսիդացման ենթարկվել: CVD տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթի օգտագործումը կարող է արդյունավետորեն պաշտպանել գրաֆիտի հիմքը՝ ապահովելով նույն բարձր ջերմաստիճանի դիմադրությունը, ինչ գրաֆիտը: TaC-ը նաև իներտ նյութ է, ինչը նշանակում է, որ այն չի արձագանքի այնպիսի գազերի հետ, ինչպիսիք են արգոնը կամ ջրածինը բարձր ջերմաստիճաններում:Հարցում տանտալի կարբիդով (TaC) ծածկված ընկալիչ էպիտաքսիայի սարքավորման համար հիմա!

 

 


Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:

 

Տարիների զարգացումից հետո Semicera-ն նվաճեց տեխնոլոգիանCVD TaCգիտահետազոտական ​​բաժնի համատեղ ջանքերով։ SiC վաֆլիների աճի գործընթացում թերությունները հեշտ են առաջանում, բայց օգտագործելուց հետոTaC, տարբերությունը զգալի է։ Ստորև ներկայացված է վաֆլիների համեմատությունը TaC-ով և առանց TaC-ի, ինչպես նաև Simicera' մասերի մեկ բյուրեղային աճի համար:

微信图片_20240227150045

TaC-ով և առանց դրա

微信图片_20240227150053

TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)

Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար ծառայության ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.

 
0 (1)
Semicera Աշխատանքային վայր
Semicera աշխատավայր 2
Սարքավորումների մեքենա
Semicera Ware House
CNN-ի մշակում, քիմիական մաքրում, CVD ծածկույթ
Մեր ծառայությունը

  • Նախորդը:
  • Հաջորդը: