TaC ծածկված գրաֆիտային ուղեցույց օղակներվերաբերում են բարակ շերտի նստվածքինտանտալի կարբիդգրաֆիտի ուղեցույցի մակերևույթի վրա՝ բարելավելու դրա մաշվածության դիմադրությունը, բարձր ջերմաստիճանի դիմադրությունը և քիմիական կայունությունը: Այս ծածկույթը սովորաբար ձևավորվում է գրաֆիտի ուղղորդող օղակի մակերեսի վրա այնպիսի մեթոդներով, ինչպիսիք են ֆիզիկական գոլորշիների նստեցումը (PVD) կամ քիմիական գոլորշիների նստեցումը (CVD):
Semicera-ն տրամադրում է մասնագիտացված տանտալ կարբիդի (TaC) ծածկույթներ տարբեր բաղադրիչների և կրիչների համար:Semicera առաջատար ծածկույթի գործընթացը հնարավորություն է տալիս տանտալի կարբիդի (TaC) ծածկույթներին հասնել բարձր մաքրության, բարձր ջերմաստիճանի կայունության և բարձր քիմիական հանդուրժողականության՝ բարելավելով SIC/GAN բյուրեղների և EPI շերտերի արտադրանքի որակը (Գրաֆիտով պատված TaC ընկալիչ), և երկարացնելով ռեակտորի հիմնական բաղադրիչների կյանքը: Տանտալի կարբիդի TaC ծածկույթի օգտագործումը եզրերի խնդիրը լուծելու և բյուրեղների աճի որակը բարելավելու համար է, իսկ Semicera-ն բեկումնային լուծում է տվել տանտալի կարբիդի ծածկույթի տեխնոլոգիան (CVD)՝ հասնելով միջազգային առաջադեմ մակարդակի:
Տարիների զարգացումից հետո Semicera-ն նվաճեց տեխնոլոգիանCVD TaCգիտահետազոտական բաժնի համատեղ ջանքերով։ SiC վաֆլիների աճի գործընթացում թերությունները հեշտ են առաջանում, բայց օգտագործելուց հետոTaC, տարբերությունը զգալի է։ Ստորև ներկայացված է վաֆլիների համեմատությունը TaC-ով և առանց TaC-ի, ինչպես նաև Simicera' մասերի մեկ բյուրեղային աճի համար:
TaC ծածկված գրաֆիտի ուղեցույցների հիմնական առանձնահատկությունները ներառում են.
1. Բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն. TaC ծածկույթն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանի կայունություն և կարող է կայունություն պահպանել բարձր ջերմաստիճանի միջավայրերում:
2. Մաշվածության դիմադրություն. տանտալի կարբիդի բարակ շերտի բարձր կարծրությունը ուղեցույցի օղակին տալիս է լավ մաշվածության դիմադրություն և երկարացնում է դրա ծառայության ժամկետը:
3. Քիմիական կայունություն. TaC ծածկույթն ունի բարձր կայունություն քիմիական կոռոզիայից, ինչը հարմար է դարձնում որոշ քայքայիչ միջավայրերում կիրառման համար:
4. Նվազեցնել շփումը. TaC ծածկույթը կարող է արդյունավետորեն նվազեցնել շփումը գրաֆիտի ուղեցույցի օղակի և այլ բաղադրիչների միջև և բարելավել մեխանիկական կնիքների արդյունավետությունը:
TaC-ով և առանց դրա
TaC-ն օգտագործելուց հետո (աջ)
Ավելին, Semicera-իTaC-պատված արտադրանքհամեմատ ավելի երկար սպասարկման ժամկետ և բարձր ջերմաստիճանի ավելի մեծ դիմադրությունSiC ծածկույթներ.Լաբորատոր չափումները ցույց են տվել, որ մերTaC ծածկույթներկարող է հետևողականորեն գործել մինչև 2300 աստիճան Ցելսիուս ջերմաստիճանում երկար ժամանակով: Ստորև բերված են մեր նմուշների մի քանի օրինակ.
