The Silicon Film by Semicera-ն բարձրորակ, ճշգրիտ նախագծված նյութ է, որը նախատեսված է կիսահաղորդչային արդյունաբերության խիստ պահանջներին համապատասխանելու համար: Մաքուր սիլիցիումից պատրաստված այս բարակ թաղանթային լուծույթն առաջարկում է գերազանց միատեսակություն, բարձր մաքրություն և բացառիկ էլեկտրական և ջերմային հատկություններ: Այն իդեալական է կիսահաղորդչային տարբեր ծրագրերում օգտագործելու համար, ներառյալ Si Wafer, SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate և Epi-Wafer արտադրությունը: Semicera's Silicon Film-ը ապահովում է հուսալի և հետևողական կատարում՝ դարձնելով այն կարևոր նյութ առաջադեմ միկրոէլեկտրոնիկայի համար:
Բարձր որակ և արդյունավետություն կիսահաղորդիչների արտադրության համար
Semicera's Silicon Film-ը հայտնի է իր ակնառու մեխանիկական ուժով, բարձր ջերմային կայունությամբ և թերության ցածր արագությամբ, որոնք բոլորն էլ կարևոր նշանակություն ունեն բարձր արդյունավետության կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ: Անկախ նրանից, թե դրանք օգտագործվում են գալիումի օքսիդի (Ga2O3) սարքերի, AlN Wafer կամ Epi-Wafers արտադրության մեջ, թաղանթը ամուր հիմք է ստեղծում բարակ թաղանթի նստեցման և էպիտաքսիալ աճի համար: Դրա համատեղելիությունը կիսահաղորդչային այլ սուբստրատների հետ, ինչպիսիք են SiC Substrate-ը և SOI Wafers-ը, ապահովում է անխափան ինտեգրում առկա արտադրական գործընթացներին՝ օգնելով պահպանել բարձր եկամտաբերությունը և արտադրանքի կայուն որակը:
Կիրառումներ կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ
Կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ Semicera-ի սիլիկոնային ֆիլմն օգտագործվում է կիրառությունների լայն շրջանակում՝ սկսած Si վաֆլի և SOI վաֆլի արտադրությունից մինչև ավելի մասնագիտացված օգտագործում, ինչպիսիք են SiN Substrate-ը և Epi-Wafer-ի ստեղծումը: Այս ֆիլմի բարձր մաքրությունն ու ճշգրտությունը այն կարևոր են դարձնում առաջադեմ բաղադրիչների արտադրության մեջ, որոնք օգտագործվում են ամեն ինչում՝ միկրոպրոցեսորներից և ինտեգրալային սխեմաներից մինչև օպտոէլեկտրոնային սարքեր:
Սիլիկոնային թաղանթը կարևոր դեր է խաղում կիսահաղորդչային գործընթացներում, ինչպիսիք են էպիտաքսիալ աճը, վաֆլի միացումը և բարակ թաղանթի նստեցումը: Նրա հուսալի հատկությունները հատկապես արժեքավոր են այն ոլորտների համար, որոնք պահանջում են խիստ վերահսկվող միջավայրեր, ինչպիսիք են կիսահաղորդչային ֆաբրիկայի մաքրման սենյակները: Բացի այդ, Silicon Film-ը կարող է ինտեգրվել ձայներիզների համակարգերին՝ արտադրության ընթացքում վաֆլի արդյունավետ մշակման և տեղափոխման համար:
Երկարաժամկետ հուսալիություն և հետևողականություն
Semicera-ի սիլիկոնային ֆիլմի օգտագործման հիմնական առավելություններից մեկը դրա երկարաժամկետ հուսալիությունն է: Իր գերազանց դիմացկունությամբ և կայուն որակով այս ֆիլմը հուսալի լուծում է տալիս մեծ ծավալով արտադրական միջավայրերի համար: Անկախ նրանից, թե այն օգտագործվում է բարձր ճշգրտության կիսահաղորդչային սարքերում, թե առաջադեմ էլեկտրոնային ծրագրերում, Semicera-ի Silicon Film-ը երաշխավորում է, որ արտադրողները կարող են հասնել բարձր արդյունավետության և հուսալիության ապրանքների լայն տեսականիով:
Ինչու՞ ընտրել Semicera-ի սիլիկոնային ֆիլմը:
Սիլիկոնային ֆիլմը Semicera-ից էական նյութ է կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ առաջադեմ կիրառությունների համար: Նրա բարձր կատարողական հատկությունները, ներառյալ գերազանց ջերմային կայունությունը, բարձր մաքրությունը և մեխանիկական ուժը, այն դարձնում են իդեալական ընտրություն այն արտադրողների համար, ովքեր ցանկանում են հասնել կիսահաղորդիչների արտադրության ամենաբարձր չափանիշներին: Si Wafer-ից և SiC Substrate-ից մինչև Gallium Oxide Ga2O3 սարքերի արտադրություն, այս ֆիլմն ապահովում է անզուգական որակ և արդյունավետություն:
Semicera's Silicon Film-ի միջոցով դուք կարող եք վստահել մի արտադրանքի, որը բավարարում է ժամանակակից կիսահաղորդիչների արտադրության կարիքները՝ ապահովելով հուսալի հիմք էլեկտրոնիկայի հաջորդ սերնդի համար:
| Նյութեր | Արտադրություն | Հետազոտություն | Կեղծիք |
| Բյուրեղյա պարամետրեր | |||
| Պոլիտիպ | 4H | ||
| Մակերեւույթի կողմնորոշման սխալ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Էլեկտրական պարամետրեր | |||
| Դոպանտ | n-տիպի ազոտ | ||
| Դիմադրողականություն | 0,015-0,025ohm·սմ | ||
| Մեխանիկական պարամետրեր | |||
| Տրամագիծը | 150,0±0,2 մմ | ||
| Հաստություն | 350±25 մկմ | ||
| Առաջնային հարթ կողմնորոշում | [1-100]±5° | ||
| Առաջնային հարթ երկարություն | 47,5±1,5 մմ | ||
| Երկրորդական բնակարան | Ոչ մեկը | ||
| TTV | ≤5 մկմ | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ |
| LTV | ≤3 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤5 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤10 մկմ (5 մմ*5 մմ) |
| Խոնարհվել | -15 մկմ ~ 15 մկմ | -35 մկմ ~ 35 մկմ | -45 մկմ ~ 45 մկմ |
| Շեղել | ≤35 մկմ | ≤45 մկմ | ≤55 մկմ |
| Առջևի (Si-դեմքի) կոշտություն (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Կառուցվածք | |||
| Միկրոպողովակների խտությունը | <1 էա/սմ2 | <10 էա/սմ2 | <15 ea/cm2 |
| Մետաղական կեղտեր | ≤5E10 ատոմ/սմ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 էա/սմ2 | ≤3000 էա/սմ2 | NA |
| TSD | ≤500 էա/սմ2 | ≤1000 էա/սմ2 | NA |
| Առջևի որակ | |||
| Ճակատ | Si | ||
| Մակերեւույթի ավարտ | Si-face CMP | ||
| Մասնիկներ | ≤60ea/վաֆլի (չափը≥0,3մկմ) | NA | |
| Քերծվածքներ | ≤5էա/մմ. Կուտակային երկարություն ≤Տրամագիծ | Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA |
| Նարնջի կեղև/փոսեր/բծեր/կտրվածքներ/ ճաքեր/աղտոտվածություն | Ոչ մեկը | NA | |
| Եզրային չիպսեր / անցքեր / կոտրվածք / վեցանկյուն թիթեղներ | Ոչ մեկը | ||
| Պոլիտիպային տարածքներ | Ոչ մեկը | Կուտակային տարածք≤20% | Կուտակային տարածք≤30% |
| Առջևի լազերային նշում | Ոչ մեկը | ||
| Վերադառնալ որակ | |||
| Հետևի ավարտ | C-դեմքի CMP | ||
| Քերծվածքներ | ≤5ea/mm,Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA | |
| Հետևի թերություններ (եզրերի չիպսեր/հատումներ) | Ոչ մեկը | ||
| Մեջքի կոպտություն | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Հետևի լազերային նշում | 1 մմ (վերին եզրից) | ||
| Եզր | |||
| Եզր | Շամֆեր | ||
| Փաթեթավորում | |||
| Փաթեթավորում | Epi-ready վակուումային փաթեթավորմամբ Մուլտի վաֆլի կասետային փաթեթավորում | ||
| *Ծանոթագրություններ. «NA» նշանակում է ոչ մի հարցում: Չնշված կետերը կարող են վերաբերել ԿԻՍԱՍՊԱՍ-ին: | |||
