Նկարագրություն
ԱյնՍիլիկոնային կարբիդ (SiC) վաֆլի ընկալիչներMOCVD-ի համար կիսամյակային սարքերից նախատեսված են առաջադեմ էպիտաքսիալ պրոցեսների համար՝ առաջարկելով բարձր արդյունավետություն երկուսի համարSi EpitaxyևSiC Epitaxyհավելվածներ։ Semicera-ի նորարարական մոտեցումը երաշխավորում է, որ այս ընկալիչները երկարակյաց և արդյունավետ են՝ ապահովելով կայունություն և ճշգրտություն կարևոր արտադրական գործառնությունների համար:
Նախագծված է աջակցելու բարդ կարիքներինMOCVD Susceptorհամակարգեր, այս արտադրանքները բազմակողմանի են, համատեղելի են կրիչների հետ, ինչպիսիք են PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier և RTP Carrier: Նրանց ճկունությունը նրանց հարմար է դարձնում բարձր տեխնոլոգիական արդյունաբերության, ներառյալ նրանց հետ աշխատող ոլորտների համարLED EpitaxialՍենսեպտոր և միաբյուրեղային սիլիցիում:
Բազմաթիվ կոնֆիգուրացիաներով, ներառյալ Barrel Susceptor-ը և Pancake Susceptor-ը, այս վաֆլի ընկալիչները նույնպես կարևոր են ֆոտոգալվանային հատվածում՝ աջակցելով ֆոտոգալվանային մասերի արտադրությանը: Կիսահաղորդիչներ արտադրողների համար SiC Epitaxy պրոցեսների վրա GaN-ի հետ աշխատելու կարողությունը այս ընկալիչները դարձնում է շատ արժեքավոր՝ կիրառությունների լայն շրջանակում բարձրորակ արդյունք ապահովելու համար:
Հիմնական հատկանիշները
1. Բարձր մաքրության SiC պատված գրաֆիտ
2. Բարձր ջերմային դիմադրություն և ջերմային միատեսակություն
3. ԼավSiC բյուրեղյա պատվածհարթ մակերեսի համար
4. Բարձր դիմացկունություն քիմիական մաքրման դեմ
CVD-SIC ծածկույթների հիմնական բնութագրերը.
| SiC-CVD | ||
| Խտություն | (գ/cc) | 3.21 |
| Ճկման ուժ | (Mpa) | 470 թ |
| Ջերմային ընդլայնում | (10-6/K) | 4 |
| Ջերմային հաղորդունակություն | (W/mK) | 300 |
Փաթեթավորում և առաքում
Մատակարարման ունակություն.
10000 հատ/կտոր ամսական
Փաթեթավորում և առաքում.
Փաթեթավորում: Ստանդարտ և ամուր փաթեթավորում
Պոլի պայուսակ + տուփ + ստվարաթղթե + ծղոտե ներքնակ
Նավահանգիստ:
Նինգբո/Շենժեն/Շանհայ
Առաջատար ժամանակը:
| Քանակ (հատ) | 1-1000 | > 1000 |
| Էստ. Ժամանակ (օր) | 30 | Բանակցելու համար |
