ԿիսամյակներՍիլիկոնային կարբիդ կերամիկական ծածկույթբարձր արդյունավետությամբ պաշտպանիչ ծածկույթ է, որը պատրաստված է չափազանց կոշտ և մաշվածության դիմացկուն սիլիցիումի կարբիդից (SiC) նյութից: Ծածկույթը սովորաբար տեղադրվում է ենթաշերտի մակերեսին CVD կամ PVD պրոցեսի միջոցովսիլիցիումի կարբիդի մասնիկներ, ապահովելով գերազանց քիմիական կոռոզիոն դիմադրություն և բարձր ջերմաստիճանի կայունություն: Հետևաբար, սիլիկոնային կարբիդի կերամիկական ծածկույթը լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդչային արտադրության սարքավորումների հիմնական բաղադրիչներում:
Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ,SiC ծածկույթկարող է դիմակայել մինչև 1600°C ծայրահեղ բարձր ջերմաստիճաններին, ուստի սիլիկոնային կարբիդ կերամիկական ծածկույթը հաճախ օգտագործվում է որպես պաշտպանիչ շերտ սարքավորումների կամ գործիքների համար՝ բարձր ջերմաստիճանի կամ քայքայիչ միջավայրում վնասը կանխելու համար:
Միևնույն ժամանակ,սիլիցիումի կարբիդ կերամիկական ծածկույթկարող է դիմակայել թթուների, ալկալիների, օքսիդների և այլ քիմիական ռեակտիվների էրոզիային և ունի բարձր կոռոզիոն դիմադրություն տարբեր քիմիական նյութերի նկատմամբ: Հետևաբար, այս արտադրանքը հարմար է կիսահաղորդչային արդյունաբերության տարբեր քայքայիչ միջավայրերի համար:
Ավելին, համեմատած այլ կերամիկական նյութերի հետ, SiC-ն ունի ավելի բարձր ջերմային հաղորդունակություն և կարող է արդյունավետ ջերմություն հաղորդել: Այս հատկանիշը որոշում է, որ կիսահաղորդչային գործընթացներում, որոնք պահանջում են ջերմաստիճանի ճշգրիտ հսկողություն, բարձր ջերմային հաղորդունակությունըՍիլիկոնային կարբիդ կերամիկական ծածկույթօգնում է հավասարաչափ ցրել ջերմությունը, կանխում է տեղային գերտաքացումը և ապահովում սարքի աշխատանքը օպտիմալ ջերմաստիճանում:
| CVD sic ծածկույթի հիմնական ֆիզիկական հատկությունները | |
| Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
| Բյուրեղյա կառուցվածք | FCC β փուլային պոլիբյուրեղային, հիմնականում (111) ուղղվածություն |
| Խտություն | 3,21 գ/սմ³ |
| Կարծրություն | 2500 Vickers կարծրություն (500 գ բեռ) |
| Հացահատիկի չափը | 2-10 մկմ |
| Քիմիական մաքրություն | 99,99995% |
| Ջերմային հզորություն | 640 J·kg-1· Կ-1 |
| Սուբլիմացիայի ջերմաստիճանը | 2700℃ |
| Ճկման ուժ | 415 ՄՊա RT 4-բալ |
| Յանգի մոդուլը | 430 Gpa 4pt թեքում, 1300℃ |
| Ջերմային հաղորդունակություն | 300W·m-1· Կ-1 |
| Ջերմային ընդլայնում (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
