SiC Cantilever թիավարօգտագործվում է ֆոտոգալվանային արդյունաբերության դիֆուզիոն ծածկույթի վառարանում՝ միաբյուրեղ և բազմաբյուրեղ սիլիցիումային վաֆլիներ ծածկելու համար: Դրա առանձնահատկությունը թույլ է տալիս դիմակայել բարձր ջերմաստիճանին և կոռոզիային, ինչը երկար կյանք է տալիս:
ԱյնSiC Cantilever թիավարմատակարարում է SiC նավակներ /քվարցային նավակներ, որոնք սիլիկոնային վաֆլիներ են տեղափոխում բարձր ջերմաստիճանի դիֆուզիոն ծածկույթի վառարանի խողովակի մեջ:
Երկարությունը մերSiC Cantilever թիավարտատանվում է 1500-ից 3500 մմ:SiC Cantilever թիավարումչափը կարող է հարմարեցվել ըստ հաճախորդի բնութագրերի:
| Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները | |
| Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
| Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C) | 1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր) |
| SiC բովանդակություն | > 99.96% |
| Անվճար Si բովանդակություն | < 0,1% |
| Զանգվածային խտություն | 2,60-2,70 գ/սմ3 |
| Ակնհայտ ծակոտկենություն | < 16% |
| Սեղմման ուժը | > 600 ՄՊա |
| Սառը ճկման ուժ | 80-90 ՄՊա (20°C) |
| Տաք ճկման ուժ | 90-100 ՄՊա (1400°C) |
| Ջերմային ընդլայնում @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ջերմահաղորդականություն @1200°C | 23 W/m•K |
| Էլաստիկ մոդուլ | 240 ԳՊա |
| Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Չափազանց լավ |
