Կիսամյակներներկայացնում է իր բարձր որակըSi Epitaxyծառայություններ, որոնք նախատեսված են այսօրվա կիսահաղորդչային արդյունաբերության ճշգրիտ չափանիշներին համապատասխանելու համար: Էպիտաքսիալ սիլիցիումային շերտերը կարևոր են էլեկտրոնային սարքերի աշխատանքի և հուսալիության համար, և մեր Si Epitaxy լուծումներն ապահովում են ձեր բաղադրիչների օպտիմալ ֆունկցիոնալությունը:
Ճշգրիտ աճեցված սիլիկոնային շերտեր Կիսամյակներհասկանում է, որ բարձր արդյունավետության սարքերի հիմքը օգտագործվող նյութերի որակի մեջ է: ՄերSi EpitaxyԳործընթացը մանրակրկիտ վերահսկվում է բացառիկ միատեսակությամբ և բյուրեղային ամբողջականությամբ սիլիկոնային շերտեր արտադրելու համար: Այս շերտերը կարևոր են միկրոէլեկտրոնիկայից մինչև առաջադեմ էներգիայի սարքերի կիրառման համար, որտեղ հետևողականությունն ու հուսալիությունը առաջնային են:
Օպտիմիզացված սարքի աշխատանքի համարԱյնSi EpitaxySemicera-ի կողմից առաջարկվող ծառայությունները հարմարեցված են ձեր սարքերի էլեկտրական հատկությունները բարձրացնելու համար: Աճելով բարձր մաքրության սիլիցիումի շերտերը ցածր թերության խտությամբ՝ մենք ապահովում ենք, որ ձեր բաղադրիչները կատարեն իրենց լավագույն աշխատանքը՝ բարելավված կրիչի շարժունակությամբ և նվազագույն էլեկտրական դիմադրողականությամբ: Այս օպտիմիզացումը չափազանց կարևոր է ժամանակակից տեխնոլոգիաների կողմից պահանջվող բարձր արագության և բարձր արդյունավետության բնութագրերին հասնելու համար:
Բազմակողմանիություն հավելվածներում Կիսամյակներ-իSi Epitaxyհարմար է կիրառությունների լայն շրջանակի համար, ներառյալ CMOS տրանզիստորների, հզոր MOSFET-ների և երկբևեռ հանգույցի տրանզիստորների արտադրության համար: Մեր ճկուն գործընթացը թույլ է տալիս հարմարեցում կատարել՝ հիմնվելով ձեր նախագծի հատուկ պահանջների վրա՝ անկախ նրանից՝ ձեզ հարկավոր են բարակ շերտեր բարձր հաճախականության կիրառման համար, թե ավելի հաստ շերտեր էլեկտրական սարքերի համար:
Նյութի բարձր որակՈրակը գտնվում է այն ամենի հիմքում, ինչ մենք անում ենք Semicera-ում: ՄերSi Epitaxyգործընթացը օգտագործում է ժամանակակից սարքավորումներ և տեխնիկա՝ ապահովելու համար, որ յուրաքանչյուր սիլիկոնային շերտ համապատասխանում է մաքրության և կառուցվածքի ամբողջականության ամենաբարձր չափանիշներին: Մանրամասների նկատմամբ այս ուշադրությունը նվազագույնի է հասցնում թերությունների առաջացումը, որոնք կարող են ազդել սարքի աշխատանքի վրա՝ հանգեցնելով ավելի հուսալի և երկարատև բաղադրիչների:
Հանձնառություն նորարարությանը Կիսամյակներպարտավորվում է մնալ կիսահաղորդչային տեխնոլոգիայի առաջնագծում: ՄերSi Epitaxyծառայություններն արտացոլում են այս պարտավորությունը՝ ներառելով էպիտաքսիալ աճի տեխնիկայի վերջին առաջընթացները: Մենք շարունակաբար կատարելագործում ենք մեր գործընթացները՝ մատակարարելու սիլիկոնային շերտեր, որոնք բավարարում են արդյունաբերության զարգացող կարիքները՝ ապահովելով, որ ձեր արտադրանքը մնա շուկայում մրցունակ:
Ձեր կարիքների համար հարմարեցված լուծումներՀասկանալով, որ յուրաքանչյուր նախագիծ եզակի է,Կիսամյակներառաջարկում է հարմարեցվածSi Epitaxyլուծումներ, որոնք համապատասխանում են ձեր հատուկ կարիքներին: Անկախ նրանից, թե դուք պահանջում եք որոշակի դոպինգ պրոֆիլներ, շերտերի հաստություն կամ մակերևույթի հարդարում, մեր թիմը սերտորեն համագործակցում է ձեզ հետ՝ ձեր ճշգրիտ բնութագրերին համապատասխանող արտադրանք մատակարարելու համար:
| Նյութեր | Արտադրություն | Հետազոտություն | Կեղծիք |
| Բյուրեղյա պարամետրեր | |||
| Պոլիտիպ | 4H | ||
| Մակերեւույթի կողմնորոշման սխալ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Էլեկտրական պարամետրեր | |||
| Դոպանտ | n-տիպի ազոտ | ||
| Դիմադրողականություն | 0,015-0,025ohm·սմ | ||
| Մեխանիկական պարամետրեր | |||
| Տրամագիծը | 150,0±0,2 մմ | ||
| Հաստություն | 350±25 մկմ | ||
| Առաջնային հարթ կողմնորոշում | [1-100]±5° | ||
| Առաջնային հարթ երկարություն | 47,5±1,5 մմ | ||
| Երկրորդական բնակարան | Ոչ մեկը | ||
| TTV | ≤5 մկմ | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ |
| LTV | ≤3 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤5 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤10 մկմ (5 մմ*5 մմ) |
| Խոնարհվել | -15 մկմ ~ 15 մկմ | -35 մկմ ~ 35 մկմ | -45 մկմ ~ 45 մկմ |
| Շեղել | ≤35 մկմ | ≤45 մկմ | ≤55 մկմ |
| Առջևի (Si-դեմքի) կոշտություն (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Կառուցվածք | |||
| Միկրոպողովակների խտությունը | <1 էա/սմ2 | <10 էա/սմ2 | <15 ea/cm2 |
| Մետաղական կեղտեր | ≤5E10 ատոմ/սմ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 էա/սմ2 | ≤3000 էա/սմ2 | NA |
| TSD | ≤500 էա/սմ2 | ≤1000 էա/սմ2 | NA |
| Առջևի որակ | |||
| Ճակատ | Si | ||
| Մակերեւույթի ավարտ | Si-face CMP | ||
| Մասնիկներ | ≤60ea/վաֆլի (չափը≥0,3մկմ) | NA | |
| Քերծվածքներ | ≤5էա/մմ. Կուտակային երկարություն ≤Տրամագիծ | Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA |
| Նարնջի կեղև/փոսեր/բծեր/կտրվածքներ/ ճաքեր/աղտոտվածություն | Ոչ մեկը | NA | |
| Եզրային չիպսեր / անցքեր / կոտրվածք / վեցանկյուն թիթեղներ | Ոչ մեկը | ||
| Պոլիտիպային տարածքներ | Ոչ մեկը | Կուտակային տարածք≤20% | Կուտակային տարածք≤30% |
| Առջևի լազերային նշում | Ոչ մեկը | ||
| Վերադառնալ որակ | |||
| Հետևի ավարտ | C-դեմքի CMP | ||
| Քերծվածքներ | ≤5ea/mm,Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA | |
| Հետևի թերություններ (եզրերի չիպսեր/հատումներ) | Ոչ մեկը | ||
| Մեջքի կոպտություն | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Հետևի լազերային նշում | 1 մմ (վերին եզրից) | ||
| Եզր | |||
| Եզր | Շամֆեր | ||
| Փաթեթավորում | |||
| Փաթեթավորում | Epi-ready վակուումային փաթեթավորմամբ Մուլտի վաֆլի կասետային փաթեթավորում | ||
| *Ծանոթագրություններ. «NA» նշանակում է ոչ մի հարցում: Չնշված կետերը կարող են վերաբերել ԿԻՍԱՍՊԱՍ-ին: | |||
