Վաֆլի կրիչի ներդրում
ԱՊՐԱՆՔԻ ԿԱՏԱԳՈՐԻԱ
▶Վաֆլի կրող համակարգ PECVD & TALOX գործընթացի համար
• PECVD և TALOX գրաֆիտային նավակ (M4~M12)
• Ուղղահայաց SM-Boat (M4, M6)
• Իմպլանտի և ցնցուղի գրաֆիտային մաս (M4~M6)
• C/C սկուտեղ և կերամիկական ծածկույթ
• Metal RIE-Tray & Ceramic Coating
• Վակուումային կնքում. O-Ring և SQ-Ring
▶Հյուսվածքային և խոնավ փորագրման փոխանցման գործընթաց
• LSC H-Carrier կամ ձայներիզ (M4~M12)
• LSC V-Carrier կամ ձայներիզ (M4~M12)
• ASC կրիչ կամ ձայներիզ (M4, M6)
• W/F Carrier & Storage Box (M4~M12)
• Transport Wheel (Roller) Series
▶Solar Cell Carrier & Metal Carrier
• TRC կրիչ կամ ձայներիզ (M4~M12)
• Ամսագիր (BELT-ով)
Գրաֆիտային Նավակ (H-Type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
Գրաֆիտային Նավակ (H-Type)
21P6-240CT WF M4~M12)
Գրաֆիտային Նավակ (H-Type)
23P7-308CT (W/F M4~M12)
Գրաֆիտային Նավակ (H-Type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
Գրաֆիտային Նավակ (H-Type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF CARRIER & STORAGE BOX (~M12)
C/C սկուտեղ կամ CARRIER (M4~M10)
C/C սկուտեղ կամ CARRIER (M4~M10)
ՈՒՂՂԱԶԳԱՅԻՆ ՆԱՎԱԿ (SM) M6
LSC-H-CARRIER (~ M12)
LSC-V-CARRIER (~ M12)
ASC CARRIER (~ M6)
TRC CARRIER (~ M12)
TRC CARRIER (~ M12)
Գրաֆիտ-Նավակ (M12)
Վաֆլի կրող համակարգ PECVD գործընթացի համար
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M10/M12 Process
• ՀԱՏՈՒԿ ԴԻԶԱՅՆ ՀԱՅԱՑՈՒՑԻՉ
▶ GRAPHITE BOAT (CT-Designed) M4/M6 Գործընթաց
▶ BOAT լրասարքի մասեր
▶ ՈՒՐԻՏԻԿԱԼ ՆԱՎԱԿ-161.7մմ ՎԱՖԵՐ
▶ ՈՒՐԻՏԻԿԱԼ ՆԱՎԱԿ-166 մմ ՎԱՖԵՐ
▶ ուղղահայաց Նավակ-161,7 մմ, 166 մմ վաֆլի
Solar Cell Carrier & Metal TRC Carrier
ՏԵՍԱԿ: Ավտոմատացում
Վաֆլի Չափսը՝ ① 156×156 մմ ② 156,75×156,75 մմ
③ 161.7x161.7 մմ ④166x166 մմ
⑤ 180×180 մմ ⑥ 210×210 մմ
ՕԳՏԱԳՈՐԾՈՒՄԸ՝ կրել (կասետա)
Տարողությունը՝ 100 թերթ
ՏԵՍԱՆՅՈՒԹ՝ 4,76 մմ/5,953 մմ/6,35 մմ
ՉԱՓԸ՝ մոտավորապես 559×220×220 մմ
Մոտ 712 × 260 × 260 մմ
ԱՌԱՎԵԼՈՒԹՅՈՒՆ՝ մթնոլորտ
ՆՅՈՒԹ՝ բոց, կողային բար-ալյումին (անոդացնող)
SIDE PLATE-POM (հակաստատիկ)
Ներքևի բարի ծածկույթ-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
TRC-METAL CARRIER (U'SER LINE)
Ցնցուղի ափսե և իմպլանտ, ԿԱՐԻՐ
