Ինչու՞ է միայնակ բյուրեղյա սիլիցիումը պետք գլորել:

Գլորումը վերաբերում է սիլիկոնային մեկ բյուրեղյա ձողի արտաքին տրամագիծը մանրացնելու գործընթացին, որը անհրաժեշտ տրամագծով մեկ բյուրեղյա ձող է, օգտագործելով ադամանդե հղկման անիվ, և մանրացնելով հարթ եզրային հղման մակերեսը կամ մեկ բյուրեղյա ձողի դիրքավորման ակոսը:

Մեկ բյուրեղյա վառարանի կողմից պատրաստված մեկ բյուրեղյա ձողի արտաքին տրամագծի մակերեսը հարթ և հարթ չէ, և դրա տրամագիծը ավելի մեծ է, քան վերջնական կիրառման մեջ օգտագործվող սիլիկոնային վաֆլի տրամագիծը: Ձողի պահանջվող տրամագիծը կարելի է ձեռք բերել արտաքին տրամագիծը գլորելով:

Գլանման գործարանը ունի սիլիցիումի մեկ բյուրեղյա ձողի հարթ եզրային հղման մակերեսը կամ տեղադրման ակոսը մանրացնելու գործառույթը, այսինքն՝ ուղղորդված փորձարկում կատարել պահանջվող տրամագծով մեկ բյուրեղյա ձողի վրա: Նույն գլանման սարքավորման վրա, հարթ եզրային հղման մակերեսը կամ մեկ բյուրեղյա ձողի դիրքավորման ակոսը մանրացված է: Ընդհանուր առմամբ, 200 մմ-ից պակաս տրամագծով մեկ բյուրեղյա ձողերը օգտագործում են հարթ եզրային հղման մակերեսներ, իսկ 200 մմ և ավելի տրամագծով մեկ բյուրեղյա ձողերը օգտագործում են դիրքավորման ակոսներ: 200 մմ տրամագծով մեկ բյուրեղյա ձողեր, ըստ անհրաժեշտության, կարող են պատրաստվել նաև հարթ եզրային հղման մակերեսներով: Մեկ բյուրեղյա ձողի կողմնորոշման հղման մակերևույթի նպատակը ինտեգրալ շղթայի արտադրության մեջ տեխնոլոգիական սարքավորումների տեղադրման ավտոմատացված շահագործման կարիքների բավարարումն է. նշել սիլիցիումի վաֆլի բյուրեղային կողմնորոշումը և հաղորդունակության տեսակը և այլն՝ արտադրության կառավարումը հեշտացնելու համար. հիմնական դիրքավորման եզրը կամ դիրքավորման ակոսը ուղղահայաց է <110> ուղղությանը: Չիպերի փաթեթավորման գործընթացում խորանարդի գործընթացը կարող է առաջացնել վաֆլի բնական ճեղքվածք, իսկ դիրքավորումը կարող է նաև կանխել բեկորների առաջացումը:

Կլորացման գործընթացի հիմնական նպատակները ներառում են. Մակերևույթի որակի բարելավում. Կլորացումը կարող է հեռացնել սիլիցիումային վաֆլիների մակերեսի փորվածքներն ու անհարթությունները և բարելավել սիլիցիումային վաֆլիների մակերեսի հարթությունը, ինչը շատ կարևոր է հետագա ֆոտոլիտոգրաֆիայի և փորագրման գործընթացների համար: Սթրեսի նվազեցում. Սթրեսը կարող է առաջանալ սիլիկոնային վաֆլիների կտրման և մշակման ժամանակ: Կլորացումը կարող է օգնել ազատվել այս սթրեսներից և կանխել սիլիցիումի վաֆլիների կոտրումը հետագա գործընթացներում: Սիլիկոնային վաֆլիների մեխանիկական ամրության բարելավում. Կլորացման գործընթացում սիլիկոնային վաֆլիների եզրերը կդառնան ավելի հարթ, ինչը օգնում է բարելավել սիլիցիումային վաֆլիների մեխանիկական ամրությունը և նվազեցնել վնասը տեղափոխման և օգտագործման ընթացքում: Չափերի ճշգրտության ապահովում. Կլորացման միջոցով կարելի է ապահովել սիլիցիումային վաֆլիների չափերի ճշգրտությունը, ինչը կարևոր է կիսահաղորդչային սարքերի արտադրության համար: Սիլիկոնային վաֆլիների էլեկտրական հատկությունների բարելավում. Սիլիկոնային վաֆլիների եզրային մշակումը կարևոր ազդեցություն ունի դրանց էլեկտրական հատկությունների վրա: Կլորացումը կարող է բարելավել սիլիցիումային վաֆլիների էլեկտրական հատկությունները, օրինակ՝ նվազեցնելով արտահոսքի հոսանքը: Էսթետիկա. Սիլիկոնային վաֆլի եզրերը կլորացումից հետո ավելի հարթ և գեղեցիկ են, ինչը նույնպես անհրաժեշտ է կիրառման որոշակի սցենարների համար: