Ի՞նչ է MOCVD Susceptor-ը:

ԱյնMOCVDմեթոդը ներկայումս արդյունաբերության մեջ կիրառվող ամենակայուն գործընթացներից մեկն է՝ բարձրորակ միաբյուրեղային բարակ թաղանթներ աճեցնելու համար, ինչպիսիք են միաֆազ InGaN էպիլաշերտերը, III-N նյութերը և կիսահաղորդչային թաղանթները բազմաքվանտային հորերի կառուցվածքով, և մեծ նշանակություն ունի կիսահաղորդչային և օպտոէլեկտրոնային սարքերի արտադրություն։

ԱյնSiC ծածկույթի MOCVD ընկալիչՎաֆլի մասնագիտացված պահարան է՝ պատված սիլիցիումի կարբիդով (SiC) համարէպիտաքսիալ աճ մետաղի օրգանական քիմիական գոլորշիների նստեցման (MOCVD) գործընթացում:

SiC ծածկույթն ունի հիանալի քիմիական դիմադրություն և ջերմային կայունություն, ինչը այն դարձնում է իդեալական ընտրություն MOCVD ընկալիչների համար, որոնք օգտագործվում են էպիտաքսիալ աճի պահանջկոտ գործընթացներում:

MOCVD գործընթացի հիմնական բաղադրիչը ընկալիչն է, որը առանցքային տարր է արտադրված բարակ թաղանթների միատեսակությունն ու որակն ապահովելու համար:

Ի՞նչ է ընկալիչը: The susceptor-ը մասնագիտացված բաղադրիչ է, որն օգտագործվում է MOCVD գործընթացում՝ սատարելու և տաքացնելու համար այն ենթաշերտը, որի վրա դրված է բարակ թաղանթը: Այն ունի բազմաթիվ գործառույթներ, ներառյալ էլեկտրամագնիսական էներգիան կլանելը, այն ջերմության վերածելը և ջերմության հավասարաչափ բաշխումը ենթաշերտի վրա: Այս միատեսակ ջեռուցումն անհրաժեշտ է ճշգրիտ հաստությամբ և կազմով միատեսակ բարակ թաղանթների աճի համար:

Սենսորների տեսակները.
1. Գրաֆիտի ընկալիչներ. գրաֆիտի ընկալիչները հաճախ պատված են պաշտպանիչ շերտով, ինչպիսինսիլիցիումի կարբիդ (SiC), որը հայտնի է իր բարձր ջերմահաղորդականությամբ և կայունությամբ։ ԱյնSiC ծածկույթապահովում է կոշտ, պաշտպանիչ մակերես, որը դիմակայում է կոռոզիայից և քայքայմանը բարձր ջերմաստիճաններում:

2. Սիլիցիումի կարբիդի (SiC) ընկալիչներ. այս ընկալիչները ամբողջությամբ պատրաստված են SiC-ից և ունեն գերազանց ջերմային կայունություն և մաշվածության դիմադրություն: SiC ընկալիչները հատկապես հարմար են բարձր ջերմաստիճանի գործընթացների և քայքայիչ միջավայրերի համար:

Ինչպես են ընկալիչները աշխատում MOCVD-ում.

MOCVD գործընթացում պրեկուրսորները ներմուծվում են ռեակցիայի խցիկ, որտեղ նրանք քայքայվում և արձագանքում են՝ հիմքի վրա բարակ թաղանթ ձևավորելով: Սենսեպտորը կենսական դեր է խաղում՝ ապահովելով, որ ենթաշերտը հավասարապես տաքացվի, ինչը կարևոր է ենթաշերտի ամբողջ մակերևույթի վրա կայուն թաղանթային հատկությունների ձեռքբերման համար: Սենսեպտորի նյութը և դիզայնը խնամքով ընտրված են, որպեսզի բավարարեն նստեցման գործընթացի հատուկ պահանջները, ինչպիսիք են ջերմաստիճանի միջակայքը և քիմիական համատեղելիությունը:

Բարձրորակ ընկալիչների օգտագործման առավելությունները.
• Ֆիլմի որակի բարելավում. ապահովելով ջերմության միասնական բաշխում, ընկալիչը օգնում է ձեռք բերել կայուն հաստությամբ և բաղադրությամբ թաղանթներ, ինչը կարևոր է կիսահաղորդչային սարքերի աշխատանքի համար:
• Բարելավված գործընթացի արդյունավետություն. բարձրորակ ընկալիչները բարձրացնում են MOCVD գործընթացի ընդհանուր արդյունավետությունը՝ նվազեցնելով թերությունների հավանականությունը և մեծացնելով օգտագործելի թաղանթների բերքատվությունը:
• Կյանքի տևողություն և հուսալիություն. երկարակյաց նյութերից, ինչպիսին է SiC-ից պատրաստված մածուկները, ապահովում են երկարաժամկետ հուսալիություն և նվազեցնում պահպանման ծախսերը:

The susceptor-ը MOCVD գործընթացի անբաժանելի բաղադրիչն է և ուղղակիորեն ազդում է բարակ թաղանթի նստեցման որակի և արդյունավետության վրա: Առկա չափերի, MOCVD ընկալիչների և գների մասին լրացուցիչ տեղեկությունների համար խնդրում ենք մի հապաղեք կապվել մեզ հետ: Մեր ինժեներները ուրախ կլինեն ձեզ խորհուրդ տալ համապատասխան նյութերի վերաբերյալ և կպատասխանեն ձեր բոլոր հարցերին:

Հեռ.՝ +86-13373889683
WhatsAPP՝ +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com