Ինչպես ենք մենք արտադրում-մշակման քայլերը SiC սուբստրատների համար հետևյալն են.
1. Բյուրեղային կողմնորոշում. բյուրեղային ձուլակտորը կողմնորոշելու համար օգտագործելով ռենտգենյան դիֆրակցիան: Երբ ռենտգենյան ճառագայթն ուղղված է ցանկալի բյուրեղային երեսին, ցրված ճառագայթի անկյունը որոշում է բյուրեղային կողմնորոշումը:
2. Արտաքին տրամագծով հղկելը. Գրաֆիտի կարասներում աճեցված առանձին բյուրեղները հաճախ գերազանցում են ստանդարտ տրամագծերը: Արտաքին տրամագծով հղկելը դրանք նվազեցնում է ստանդարտ չափսերի:
3. End Face Grinding. 4-դյույմանոց 4H-SiC ենթաշերտերը սովորաբար ունեն երկու դիրքավորող եզրեր՝ առաջնային և երկրորդական: Վերջնական դեմքի մանրացումը բացում է այս դիրքավորման եզրերը:
4. Լարերի սղոցում. մետաղալարերի սղոցումը կարևոր քայլ է 4H-SiC ենթաշերտերի մշակման համար: Լարերի սղոցման ժամանակ առաջացած ճեղքերը և ենթամերձ մակերեսային վնասները բացասաբար են ազդում հետագա գործընթացների վրա՝ երկարացնելով մշակման ժամանակը և առաջացնելով նյութական կորուստ: Ամենատարածված մեթոդը ադամանդե հղկող նյութով բազմալար սղոցումն է: 4H-SiC ձուլակտորը կտրելու համար օգտագործվում է ադամանդե հղկող նյութերով կապված մետաղական լարերի փոխադարձ շարժում:
5. Շեղում. եզրերի ճեղքումը կանխելու և հետագա գործընթացների ընթացքում սպառվող նյութի կորուստները նվազեցնելու համար մետաղալարով սղոցված չիպերի սուր եզրերը ճեղքվում են որոշակի ձևերով:
6. Նիհարացում. մետաղալարերի սղոցումը թողնում է բազմաթիվ քերծվածքներ և ենթամակերևույթի վնասներ: Նիհարելը կատարվում է ադամանդե անիվների միջոցով՝ այս թերությունները հնարավորինս վերացնելու համար:
7. Հղկում. Այս գործընթացը ներառում է կոպիտ հղկում և մանր մանրացում՝ օգտագործելով ավելի փոքր չափի բորի կարբիդ կամ ադամանդի հղկող նյութեր՝ նոսրացման ժամանակ առաջացած մնացորդային և նոր վնասները հեռացնելու համար:
8. Փայլեցում. Վերջին քայլերը ներառում են կոպիտ փայլեցում և նուրբ փայլեցում կավահողով կամ սիլիցիումի օքսիդով հղկող նյութերով: Փափկեցնող հեղուկը փափկացնում է մակերեսը, որն այնուհետև մեխանիկորեն հեռացվում է հղկող նյութերի միջոցով: Այս քայլը ապահովում է հարթ և չվնասված մակերես:
9. Մաքրում. վերամշակման փուլերից մնացած մասնիկների, մետաղների, օքսիդի թաղանթների, օրգանական մնացորդների և այլ աղտոտիչների հեռացում:
Հրապարակման ժամանակը` մայիս-15-2024