Սիլիկոնային կարբիդի վաֆլի արտադրության գործընթացը

Սիլիցիումի կարբիդ վաֆլիպատրաստված է բարձր մաքրության սիլիցիումի փոշուց և բարձր մաքրության ածխածնի փոշուց որպես հումք, իսկ սիլիցիումի կարբիդ բյուրեղը աճեցվում է ֆիզիկական գոլորշի փոխանցման մեթոդով (PVT) և վերամշակվում էսիլիցիումի կարբիդ վաֆլի.

① Հումքի սինթեզ: Բարձր մաքրության սիլիցիումի փոշին և բարձր մաքրության ածխածնի փոշին խառնվել են որոշակի հարաբերակցությամբ, և սիլիցիումի կարբիդի մասնիկները սինթեզվել են 2000℃-ից բարձր ջերմաստիճանում: Մանրացման, մաքրման և այլ գործընթացներից հետո պատրաստվում են բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդի փոշի հումքը, որը համապատասխանում է բյուրեղների աճի պահանջներին:

② Բյուրեղների աճ: Օգտագործելով բարձր մաքրության SIC փոշի որպես հումք, բյուրեղը աճեցվել է ֆիզիկական գոլորշիների փոխանցման (PVT) մեթոդով, օգտագործելով ինքնուրույն մշակված բյուրեղյա աճի վառարան:

③ ձուլակտորների մշակում: Ստացված սիլիցիումի կարբիդային բյուրեղյա ձուլակտորը կողմնորոշվել է ռենտգենյան մեկ բյուրեղյա կողմնորոշիչով, այնուհետև աղացել և գլորվել և մշակվել ստանդարտ տրամագծով սիլիցիումի կարբիդ բյուրեղի:

④ Բյուրեղյա կտրում: Օգտագործելով բազմաշերտ կտրող սարքավորում, սիլիցիումի կարբիդի բյուրեղները կտրվում են բարակ թիթեղների մեջ, որոնց հաստությունը 1 մմ-ից ոչ ավելի է:

⑤ Չիպերի մանրացում: Վաֆլը մանրացվում է մինչև ցանկալի հարթությունն ու կոշտությունը տարբեր մասնիկների չափսերի ադամանդի հղկման հեղուկների միջոցով:

⑥ Չիպերի փայլեցում: Հղկված սիլիցիումի կարբիդը, առանց մակերեսային վնասների, ստացվել է մեխանիկական փայլեցման և քիմիական մեխանիկական փայլեցման միջոցով:

⑦ Չիպի հայտնաբերում: Օգտագործեք օպտիկական մանրադիտակ, ռենտգեն դիֆրակտոմետր, ատոմային ուժի մանրադիտակ, ոչ կոնտակտային դիմադրողականության չափիչ, մակերեսային հարթության չափիչ, մակերևույթի թերությունների համապարփակ փորձարկիչ և այլ գործիքներ և սարքավորումներ՝ միկրոխողովակների խտությունը, բյուրեղների որակը, մակերևույթի կոշտությունը, դիմադրողականությունը, աղավաղումը, կորությունը հայտնաբերելու համար, հաստության փոփոխություն, մակերեսի քերծվածք և սիլիցիումի կարբիդային վաֆլի այլ պարամետրեր: Ըստ այդմ, որոշվում է չիպի որակի մակարդակը։

⑧ Չիպերի մաքրում: Սիլիցիումի կարբիդ փայլեցնող թերթիկը մաքրվում է մաքրող նյութով և մաքուր ջրով, որպեսզի հեռացնեն փայլեցնող հեղուկի մնացորդային հեղուկը և մակերեսային այլ կեղտը փայլեցնող թերթիկի վրա, այնուհետև վաֆլը փչում և չորանում է գերբարձր մաքրության ազոտի և չորացման մեքենայի միջոցով; Վաֆլը պարփակված է մաքուր թերթիկի տուփի մեջ՝ գերմաքուր խցիկում, որպեսզի ձևավորվի ներքևում օգտագործման համար պատրաստ սիլիցիումի կարբիդ վաֆլի:

Որքան մեծ է չիպի չափը, այնքան ավելի դժվար է բյուրեղների աճի և մշակման համապատասխան տեխնոլոգիան, և որքան բարձր է ներքևում գտնվող սարքերի արտադրության արդյունավետությունը, այնքան ցածր է միավորի արժեքը: