Կիսահաղորդիչների արտադրության արագ զարգացող ոլորտում սարքավորումների ճշգրտությունն ու երկարակեցությունը առաջնային են բարձր եկամտաբերության և որակի հասնելու համար: Սա երաշխավորող հիմնական բաղադրիչներից մեկը SiC ծածկույթի անիվային հանդերձանքն է, որը նախատեսված է բարելավելու այնպիսի գործընթացների արդյունավետությունը, ինչպիսիք են.Si EpitaxyևSiC Epitaxy. Semicera-ում մենք մասնագիտացած ենք առաջադեմ SiC ծածկույթի անիվի շարժակների մշակման մեջ, որոնք բավարարում են ժամանակակից կիսահաղորդիչների արտադրության պահանջկոտ պահանջները՝ առաջարկելով բարձր մաշվածության դիմադրություն և ջերմային կայունություն:
SiC Coating Wheel Gears-ը վճռորոշ դեր է խաղում էպիտաքսիալ աճի համար օգտագործվող սարքավորումներում, որտեղ ապահովում են հարթ շարժում և ենթաշերտերի ճշգրիտ կառավարում: Այս շարժակների հետ իրենցսիլիցիումի կարբիդի ծածկույթ, ապահովում են ուժեղացված ամրություն և կոռոզիոն դիմադրություն՝ դրանք դարձնելով իդեալական այնպիսի միջավայրերի համար, որոնք ներառում են բարձր ջերմաստիճան և ագրեսիվ քիմիական նյութեր: Սա հատկապես կարևոր է օգտագործման գործընթացներումMOCVD Susceptors, որտեղ նյութերի նստեցումը պահանջում է կայուն և հուսալի աջակցություն:
Ի լրումն իրենց գործառույթներիSi EpitaxyևSiC Epitaxy, Semicera-ի SiC Coating Wheel Gears-ը նույնպես կենսական նշանակություն ունի կիսահաղորդչային այլ կիրառությունների համար: Օրինակ, դրանք ինտեգրված են համակարգերի հետPSS փորագրման կրիչներ, անհրաժեշտ է միատեսակ և բարձրորակ LED վաֆլիներ արտադրելու համար: Նրանց բարձր ճշգրտությունն ու ուժը նույնպես դրանք հարմար են դարձնումICP փորագրման կրիչներ, որտեղ իոնային փորագրման գործընթացներում չափազանց կարևոր է հանդուրժողականության անհրաժեշտությունը: Ավելին, արագ ջերմային անցումներին դիմակայելու նրանց կարողությունը դրանք բարձր արդյունավետություն է դարձնում կիսահաղորդչային եռացման մեջ օգտագործվող RTP կրիչներում:
SiC Coating Wheel Gears-ի մեկ այլ կարևոր կիրառություն է LED Epitaxial Susceptors-ի արտադրությունը, որտեղ դրանց երկարակեցությունը և ջերմային դիմադրությունը օգնում են պահպանել ընկալիչի ամբողջականությունը բարձր ջերմաստիճանի գործողությունների ժամանակ: Սա հանգեցնում է ավելի բարձր թողունակության և հուսալիության LED վաֆլիների արտադրության մեջ:
Ներառելով Semicera-ի առաջադեմ SiC Coating Wheel Gears-ը, արտադրողները կարող են հասնել բարելավված կատարողականության, կրճատված պարապուրդի և ուժեղացված արդյունավետության իրենց կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացներում: Անկախ նրանից, թե Si Epitaxy-ում, SiC Epitaxy-ում կամ MOCVD Susceptors-ի հետ աշխատելիս, այս հանդերձանքները ապահովում են ճկունություն և ճշգրտություն, որն անհրաժեշտ է կիսահաղորդչային արդյունաբերության բարձր պահանջները բավարարելու համար:
Լրացուցիչ տեղեկությունների համար այցելեք՝
Semicera պաշտոնական կայք:https://www.semi-cera.com/
Հրապարակման ժամանակը` 24-2024թ