Photoresist. միջուկային նյութ կիսահաղորդիչների մուտքի բարձր խոչընդոտներով

Ֆոտոռեզիստ (1)

 

 

Photoresist-ը ներկայումս լայնորեն օգտագործվում է օպտոէլեկտրոնային տեղեկատվական արդյունաբերության նուրբ գրաֆիկական սխեմաների մշակման և արտադրության մեջ: Ֆոտոլիտոգրաֆիայի պրոցեսի արժեքը կազմում է չիպերի արտադրության ողջ գործընթացի մոտ 35%-ը, իսկ ժամանակի սպառումը կազմում է ամբողջ չիպի գործընթացի 40%-ից 60%-ը: Դա կիսահաղորդիչների արտադրության հիմնական գործընթացն է: Ֆոտոռեզիստական ​​նյութերը կազմում են չիպերի արտադրության նյութերի ընդհանուր արժեքի մոտ 4%-ը և հանդիսանում են կիսահաղորդչային ինտեգրալ շղթաների արտադրության հիմնական նյութերը:

 

Չինաստանի ֆոտոռեզիստական ​​շուկայի աճի տեմպերն ավելի բարձր են, քան միջազգային մակարդակը։ Համաձայն հեռանկարային արդյունաբերության գիտահետազոտական ​​ինստիտուտի տվյալների՝ 2019 թվականին իմ երկրի ֆոտոռեզիստենտի տեղական մատակարարումը կազմել է մոտ 7 միլիարդ յուան, իսկ բարդ աճի տեմպը 2010 թվականից հասել է 11 տոկոսի, ինչը շատ ավելի բարձր է, քան համաշխարհային աճի տեմպերը։ Այնուամենայնիվ, տեղական մատակարարումը կազմում է համաշխարհային մասնաբաժնի միայն մոտ 10%-ը, և ներքին փոխարինումը ձեռք է բերվել հիմնականում ցածրորակ PCB ֆոտոռեսիստների համար: LCD և կիսահաղորդչային դաշտերում ֆոտոռեզիստների ինքնաբավության մակարդակը չափազանց ցածր է:

 

Photoresist-ը գրաֆիկական փոխանցման միջոց է, որն օգտագործում է տարբեր լուծելիություն լուսային ռեակցիայից հետո՝ դիմակի նախշը սուբստրատի վրա փոխանցելու համար: Այն հիմնականում կազմված է լուսազգայուն նյութից (ֆոտոինիցիտատոր), պոլիմերիզատորից (լուսազգայուն խեժ), լուծիչից և հավելանյութից։

 

Ֆոտոռեզիստի հումքը հիմնականում խեժն է, լուծիչը և այլ հավելումները։ Դրանց թվում վճարունակը կազմում է ամենամեծ մասնաբաժինը, ընդհանուր առմամբ ավելի քան 80%: Թեև այլ հավելումները կազմում են զանգվածի 5%-ից պակասը, դրանք հիմնական նյութեր են, որոնք որոշում են ֆոտոդիմացկուն հատկությունները, ներառյալ ֆոտոզգայունացնողները, մակերեսային ակտիվ նյութերը և այլ նյութեր: Ֆոտոլիտոգրաֆիայի գործընթացում ֆոտոռեզիստը հավասարապես պատված է տարբեր սուբստրատների վրա, ինչպիսիք են սիլիկոնային վաֆլիները, ապակին և մետաղը: Մերկացումից, զարգացումից և փորագրումից հետո դիմակի վրա դրված նախշը փոխանցվում է թաղանթին՝ ձևավորելու երկրաչափական նախշ, որն ամբողջությամբ համապատասխանում է դիմակին:

 

 Ֆոտոռեզիստ (4)

Photoresist-ը կարելի է բաժանել երեք կատեգորիայի՝ ըստ իր կիրառական դաշտերի՝ կիսահաղորդչային ֆոտոդիմացկուն, վահանակի ֆոտոռեզիստ և PCB ֆոտոռեզիստ:

 

Կիսահաղորդչային ֆոտոռեզիստ

 

Ներկայումս KrF/ArF-ը շարունակում է մնալ հիմնական մշակման նյութը: Ինտեգրված սխեմաների մշակմամբ ֆոտոլիտոգրաֆիայի տեխնոլոգիան զարգացել է G-line (436nm) լիտոգրաֆիայից, H-line (405nm) լիտոգրաֆիայից, I-line (365nm) լիտոգրաֆիայից մինչև խորը ուլտրամանուշակագույն DUV լիտոգրաֆիա (KrF248nm և ArF193nm), 193 նմ ընկղմում և բազմակի պատկերման տեխնոլոգիա (32 նմ-7 նմ), Այնուհետև կիրառվել են ծայրահեղ ուլտրամանուշակագույն (EUV, <13,5 նմ) լիտոգրաֆիա և նույնիսկ ոչ օպտիկական լիտոգրաֆիա (էլեկտրոնային ճառագայթների բացահայտում, իոնային ճառագայթների ազդեցություն), ինչպես նաև կիրառվել են տարբեր տեսակի ֆոտոռեզիստներ՝ համապատասխան ալիքի երկարություններով որպես լուսազգայուն ալիքի երկարություններ:

 

Ֆոտոռեզիստական ​​շուկան ունի արդյունաբերության կենտրոնացվածության բարձր աստիճան: Ճապոնական ընկերությունները բացարձակ առավելություն ունեն կիսահաղորդչային ֆոտոռեզիստների ոլորտում։ Հիմնական կիսահաղորդչային ֆոտոռեզիստ արտադրողները ներառում են Tokyo Ohka, JSR, Sumitomo Chemical, Shin-Etsu Chemical Ճապոնիայում; Dongjin կիսահաղորդիչ Հարավային Կորեայում; ԱՄՆ-ում և DowDuPont-ը, որոնց թվում ճապոնական ընկերությունները զբաղեցնում են շուկայի մասնաբաժնի մոտ 70%-ը։ Արտադրանքի առումով Tokyo Ohka-ն առաջատարն է g-line/i-line և Krf ֆոտոռեզիստների ոլորտներում՝ համապատասխանաբար 27,5% և 32,7% շուկայական մասնաբաժիններով: JSR-ն ունի ամենաբարձր շուկայական մասնաբաժինը Arf ֆոտոռեսիստների ոլորտում՝ 25,6%:

 

Համաձայն Fuji Economic կանխատեսումների՝ ArF և KrF սոսինձի արտադրության համաշխարհային հզորությունը 2023 թվականին ակնկալվում է հասնել 1870 և 3650 տոննայի՝ մոտ 4,9 միլիարդ և 2,8 միլիարդ յուան ​​շուկայական չափով: Ճապոնական ֆոտոռեզիստական ​​առաջատարների՝ JSR-ի և TOK-ի համախառն շահույթը, ներառյալ ֆոտոռեզիստը, կազմում է մոտ 40%, որից ֆոտոռեզիստական ​​հումքի արժեքը կազմում է մոտ 90%:

 

Ներքին կիսահաղորդչային ֆոտոդիմադրող արտադրողները ներառում են Shanghai Xinyang, Nanjing Optoelectronics, Jingrui Co., Ltd., Beijing Kehua և Hengkun Co., Ltd. Ներկայումս միայն Beijing Kehua-ն և Jingrui Co. , իսկ Beijing Kehua-ի արտադրանքը մատակարարվել է SMIC-ին: Ակնկալվում է, որ Շանհայ Սինյանգում կառուցվող 19000 տոննա/տարի ArF (չոր գործընթաց) ֆոտոդիմացկուն նախագիծը կհասնի ամբողջական արտադրության 2022 թվականին:

 

 Ֆոտոռեզիստ (3)

  

Վահանակի ֆոտոռեզիստ

 

Photoresist-ը LCD վահանակների արտադրության հիմնական նյութն է: Ըստ տարբեր օգտագործողների, այն կարելի է բաժանել RGB սոսինձի, BM սոսինձի, OC սոսինձի, PS սոսինձի, TFT սոսինձի և այլն:

 

Վահանակի ֆոտոռեսիստները հիմնականում ներառում են չորս կատեգորիաներ՝ TFT լարերի ֆոտոռեզիստներ, LCD/TP spacer ֆոտոռեզիստներ, գունավոր ֆոտոռեզիստներ և սև ֆոտոռեզիստներ: Դրանց թվում, TFT լարերի ֆոտոռեզիստները օգտագործվում են ITO լարերի համար, իսկ LCD/TP տեղումների ֆոտոռեզիստները՝ հեղուկ բյուրեղային նյութի հաստությունը LCD-ի երկու ապակե ենթաշերտերի միջև հաստատուն պահելու համար: Գունավոր ֆոտոռեզիստները և սև ֆոտոռեզիստները կարող են գունավոր ֆիլտրերին տալ գունային վերարտադրման գործառույթներ:

 

Վահանակների ֆոտոռեզիստների շուկան պետք է կայուն լինի, իսկ գունավոր ֆոտոռեզիստների պահանջարկը առաջատար է: Ակնկալվում է, որ համաշխարհային վաճառքը կհասնի 22,900 տոննայի, իսկ վաճառքը կհասնի 877 միլիոն ԱՄՆ դոլարի 2022 թվականին։

 

Ակնկալվում է, որ 2022 թվականին TFT վահանակի ֆոտոռեզիստների, LCD/TP spacer ֆոտոռեզիստների և սև ֆոտոռեզիստների վաճառքը կկազմի համապատասխանաբար 321 միլիոն ԱՄՆ դոլար, 251 միլիոն ԱՄՆ դոլար և 199 միլիոն ԱՄՆ դոլար: Ըստ Zhiyan Consulting-ի գնահատումների, վահանակների ֆոտոռեզիստների համաշխարհային շուկայի չափը կհասնի: 2020 թվականին 16,7 միլիարդ RMB, մոտ 4% աճի տեմպերով: Ըստ մեր գնահատականների, ֆոտոռեզիստական ​​շուկան մինչև 2025 թվականը կհասնի 20,3 միլիարդ RMB-ի: Դրանց թվում, LCD արդյունաբերական կենտրոնի տեղափոխմամբ, ակնկալվում է, որ իմ երկրում LCD ֆոտոռեզիստենտի շուկայի չափը և տեղայնացման մակարդակը աստիճանաբար կավելանան:

 Ֆոտոռեզիստ (5)

 

 

PCB ֆոտոռեզիստ

 

PCB ֆոտոռեսիստը կարելի է բաժանել ուլտրամանուշակագույն բուժիչ թանաքի և ուլտրամանուշակագույն լակի թանաքի՝ ըստ ծածկույթի մեթոդի: Ներկայումս PCB թանաքի ներքին մատակարարները աստիճանաբար հասել են ներքին փոխարինման, և այնպիսի ընկերություններ, ինչպիսիք են Rongda Photosensitive-ը և Guangxin Materials-ը, յուրացրել են PCB թանաքի հիմնական տեխնոլոգիաները:

 

Կենցաղային TFT ֆոտոռեսիստը և կիսահաղորդչային ֆոտոռեզիստը դեռ գտնվում են նախնական հետազոտման փուլում: Jingrui Co., Ltd., Yak Technology, Yongtai Technology, Rongda Photosensitive, Xinyihua, China Electronics Rainbow և Feikai Materials-ը բոլորն ունեն դասավորություններ TFT ֆոտոռեսիստների ոլորտում: Դրանցից Feikai Materials-ը և Beixu Electronics-ը նախատեսում են տարեկան մինչև 5000 տոննա արտադրական հզորություն: Yak Technology-ը մուտք է գործել այս շուկա՝ ձեռք բերելով LG Chem-ի գունավոր ֆոտոռեզիստական ​​ստորաբաժանումը և ունի առավելություններ ալիքների և տեխնոլոգիաների մեջ:

 

Չափազանց բարձր տեխնիկական խոչընդոտներ ունեցող ճյուղերի համար, ինչպիսին է ֆոտոդիմացկունը, տեխնիկական մակարդակում առաջընթացի հասնելը հիմք է, և երկրորդ՝ գործընթացների շարունակական բարելավումը պահանջվում է կիսահաղորդչային արդյունաբերության արագ զարգացման կարիքները բավարարելու համար:

Բարի գալուստ մեր կայք՝ ապրանքի վերաբերյալ տեղեկատվության և խորհրդատվության համար:

https://www.semi-cera.com/


Հրապարակման ժամանակը՝ նոյ-27-2024