Նոր միտումներ կիսահաղորդչային արդյունաբերության մեջ. պաշտպանիչ ծածկույթի տեխնոլոգիայի կիրառում

Կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը աննախադեպ աճ է նկատում հատկապես ոլորտումսիլիցիումի կարբիդ (SiC)ուժային էլեկտրոնիկա.Բազմաթիվ լայնածավալվաֆլիԷլեկտրական մեքենաներում SiC սարքերի աճող պահանջարկը բավարարելու համար շինարարության կամ ընդլայնման ենթարկվող ֆաբրիկները, այս բումը շահույթի աճի ուշագրավ հնարավորություններ է ներկայացնում:Այնուամենայնիվ, այն նաև առաջ է բերում եզակի մարտահրավերներ, որոնք պահանջում են նորարարական լուծումներ:

Համաշխարհային SiC չիպերի արտադրության աճի հիմքում ընկած է բարձրորակ SiC բյուրեղների, վաֆլիների և էպիտաքսիալ շերտերի արտադրությունը:Այստեղ,կիսահաղորդչային կարգի գրաֆիտնյութերը առանցքային դեր են խաղում՝ հեշտացնելով SiC բյուրեղների աճը և SiC էպիտաքսիալ շերտերի նստեցումը:Գրաֆիտի ջերմամեկուսացումը և իներտությունը դարձնում են այն նախընտրելի նյութ, որը լայնորեն օգտագործվում է կարասների, պատվանդանների, մոլորակային սկավառակների և արբանյակների մեջ բյուրեղային աճի և էպիտաքսիայի համակարգերում:Այնուամենայնիվ, գործընթացի կոշտ պայմանները զգալի մարտահրավեր են ներկայացնում՝ հանգեցնելով գրաֆիտի բաղադրիչների արագ քայքայմանը և հետագայում խոչընդոտելով բարձրորակ SiC բյուրեղների և էպիտաքսիալ շերտերի արտադրությանը:

Սիլիցիումի կարբիդի բյուրեղների արտադրությունը ենթադրում է չափազանց կոշտ գործընթացի պայմաններ, ներառյալ 2000°C-ից բարձր ջերմաստիճանը և բարձր քայքայիչ գազային նյութերը:Սա հաճախ հանգեցնում է գրաֆիտի կարասների ամբողջական կոռոզիայից մի քանի գործընթացի ցիկլերից հետո, դրանով իսկ մեծացնելով արտադրության ծախսերը:Բացի այդ, կոշտ պայմանները փոխում են գրաֆիտի բաղադրիչների մակերեսային հատկությունները՝ վտանգելով արտադրության գործընթացի կրկնելիությունն ու կայունությունը:

Այս մարտահրավերների դեմ արդյունավետ պայքարելու համար պաշտպանիչ ծածկույթի տեխնոլոգիան ի հայտ է եկել որպես խաղը փոխող:Պաշտպանիչ ծածկույթների հիման վրատանտալի կարբիդ (TaC)ներկայացվել են գրաֆիտի բաղադրիչների քայքայման և գրաֆիտի մատակարարման պակասի խնդիրները լուծելու համար:TaC նյութերը ցուցադրում են 3800°C-ից ավելի հալման ջերմաստիճան և բացառիկ քիմիական դիմադրություն:Քիմիական գոլորշիների նստեցման (CVD) տեխնոլոգիա,TaC ծածկույթներմինչև 35 միլիմետր հաստությամբ կարող է անխափան տեղադրվել գրաֆիտի բաղադրիչների վրա:Այս պաշտպանիչ շերտը ոչ միայն բարձրացնում է նյութի կայունությունը, այլև զգալիորեն երկարացնում է գրաֆիտի բաղադրիչների կյանքի տևողությունը՝ հետևաբար նվազեցնելով արտադրության ծախսերը և բարձրացնելով գործառնական արդյունավետությունը:

Semicera, առաջատար մատակարարTaC ծածկույթներ, կարևոր դերակատարություն է ունեցել կիսահաղորդչային արդյունաբերության հեղափոխության գործում:Իր առաջադեմ տեխնոլոգիաների և որակի նկատմամբ անսասան նվիրվածության շնորհիվ Semicera-ն կիսահաղորդիչների արտադրողներին հնարավորություն է տվել հաղթահարել կարևոր մարտահրավերները և հասնել հաջողության նոր բարձունքների:Առաջարկելով TaC ծածկույթներ անզուգական կատարողականությամբ և հուսալիությամբ՝ Semicera-ն ամրապնդել է իր դիրքը որպես վստահելի գործընկեր ամբողջ աշխարհում կիսահաղորդչային ընկերությունների համար:

Եզրափակելով, պաշտպանիչ ծածկույթի տեխնոլոգիան, որը սնուցվում է այնպիսի նորամուծություններով, ինչպիսիք ենTaC ծածկույթներSemicera-ից, վերափոխում է կիսահաղորդչային լանդշաֆտը և ճանապարհ հարթում դեպի ավելի արդյունավետ և կայուն ապագա: