Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ օգտագործվող բարակ թաղանթները բոլորն ունեն դիմադրություն, և թաղանթի դիմադրությունը ուղղակիորեն ազդում է սարքի աշխատանքի վրա: Մենք սովորաբար չենք չափում ֆիլմի բացարձակ դիմադրությունը, այլ օգտագործում ենք թերթիկի դիմադրությունը՝ այն բնութագրելու համար։
Որոնք են թերթիկի դիմադրությունը և ծավալային դիմադրությունը:
Ծավալային դիմադրողականությունը, որը նաև հայտնի է որպես ծավալային դիմադրողականություն, նյութի բնորոշ հատկությունն է, որը բնութագրում է, թե որքանով է նյութը խոչընդոտում էլեկտրական հոսանքի հոսքը: Սովորաբար օգտագործվող ρ նշանը ներկայացնում է, միավորը Ω է:
Թերթի դիմադրությունը, որը նաև հայտնի է որպես թերթիկի դիմադրություն, անգլերեն անվանումը թերթիկի դիմադրություն է, որը վերաբերում է ֆիլմի դիմադրության արժեքին մեկ միավորի տարածքի համար: Արտահայտելու համար սովորաբար օգտագործվող Rs կամ ρs նշանները, միավորը Ω/քմ է կամ Ω/□
Երկուսի միջև փոխհարաբերությունն է՝ թերթի դիմադրություն = ծավալային դիմադրողականություն/թաղանթի հաստություն, այսինքն՝ Rs =ρ/t
Ինչու՞ չափել թերթիկի դիմադրությունը:
Թաղանթի բացարձակ դիմադրության չափումը պահանջում է ֆիլմի երկրաչափական չափերի ճշգրիտ իմացություն (երկարություն, լայնություն, հաստություն), որն ունի բազմաթիվ փոփոխականներ և շատ բարդ է շատ բարակ կամ անկանոն ձևի թաղանթների համար: Թերթի դիմադրությունը կապված է միայն ֆիլմի հաստության հետ և կարող է արագ և ուղղակիորեն փորձարկվել առանց չափի բարդ հաշվարկների:
Ո՞ր թաղանթները պետք է չափեն թերթիկի դիմադրությունը:
Ընդհանուր առմամբ, հաղորդիչ թաղանթները և կիսահաղորդչային թաղանթները պետք է չափվեն քառակուսի դիմադրության համար, մինչդեռ մեկուսիչ թաղանթները չափման կարիք չունեն:
Կիսահաղորդչային դոպինգում չափվում է նաև սիլիցիումի թիթեղի դիմադրությունը։
Ինչպե՞ս չափել քառակուսի դիմադրությունը:
Չորս զոնդ մեթոդը հիմնականում օգտագործվում է արդյունաբերության մեջ: Չորս զոնդային մեթոդը կարող է չափել քառակուսի դիմադրությունը տատանվում է 1E-3-ից մինչև 1E+9Ω/քմ: Չորս զոնդ մեթոդը կարող է խուսափել չափման սխալներից՝ զոնդի և նմուշի միջև շփման դիմադրության պատճառով:
Չափման մեթոդներ.
1) Նմուշի մակերեսին դրեք չորս գծային դասավորված զոնդեր:
2) Կիրառեք մշտական հոսանք երկու արտաքին զոնդերի միջև:
3) Որոշեք դիմադրությունը՝ չափելով երկու ներքին զոնդերի պոտենցիալ տարբերությունը
RS: թերթիկի դիմադրություն
ΔV. Ներքին զոնդերի միջև չափված լարման փոփոխություն
I. հոսանք կիրառվել է արտաքին զոնդերի միջև
Հրապարակման ժամանակը՝ Մար-29-2024