Արտադրական գծի ճակատային մասը նման է տան հիմքը դնելուն և պատերը կառուցելուն: Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ այս փուլը ներառում է հիմնական կառուցվածքների և տրանզիստորների ստեղծումը սիլիկոնային վաֆլի վրա:
FEOL-ի հիմնական քայլերը.
1. Մաքրում:Սկսեք բարակ սիլիկոնային վաֆլիից և մաքրեք այն՝ ցանկացած կեղտը հեռացնելու համար:
2. Օքսիդացում:Վաֆլի վրա աճեցրեք սիլիցիումի երկօքսիդի շերտ՝ չիպի տարբեր մասերը մեկուսացնելու համար:
3. Ֆոտոլիտոգրաֆիա:Օգտագործեք ֆոտոլիտոգրաֆիա՝ վաֆլի վրա նախշեր փորագրելու համար, ինչը նման է լույսով գծագրեր նկարելուն:
4. Փորագրություն:Փորագրեք անցանկալի սիլիցիումի երկօքսիդը՝ ցանկալի օրինաչափությունները բացահայտելու համար:
5. Դոպինգ.Սիլիցիումի մեջ ներմուծեք կեղտեր՝ փոխելու նրա էլեկտրական հատկությունները՝ ստեղծելով տրանզիստորներ՝ ցանկացած չիպի հիմնական շինանյութը:
Գծի միջին վերջ (MEOL). Միացնելով կետերը
Արտադրության գծի միջնամասը նման է տան լարերի և սանտեխնիկայի տեղադրմանը: Այս փուլը կենտրոնանում է FEOL փուլում ստեղծված տրանզիստորների միջև կապերի հաստատման վրա:
MEOL-ի հիմնական քայլերը.
1. Դիէլեկտրիկ նստվածք:Տրանզիստորները պաշտպանելու համար տեղադրեք մեկուսիչ շերտեր (կոչվում են դիէլեկտրիկներ):
2. Կապի ձևավորում.Ձևավորեք կոնտակտներ՝ տրանզիստորները միմյանց և արտաքին աշխարհին միացնելու համար:
3. Փոխադարձ կապ.Ավելացրեք մետաղական շերտեր՝ էլեկտրական ազդանշանների համար ուղիներ ստեղծելու համար, որոնք նման են տան էլեկտրահաղորդմանը՝ ապահովելու անխափան հոսանք և տվյալների հոսք:
Գծի հետևի վերջը (BEOL).
-
Արտադրության գծի հետևի ծայրը նման է տան վերջին նրբերանգներին՝ հարմարանքների տեղադրմանը, ներկմանը և ամեն ինչի աշխատանքին ապահովելուն: Կիսահաղորդիչների արտադրության մեջ այս փուլը ներառում է վերջնական շերտերի ավելացում և չիպի պատրաստում փաթեթավորման համար:
BEOL-ի հիմնական քայլերը.
1. Լրացուցիչ մետաղական շերտեր.Ավելացրեք մի քանի մետաղական շերտեր՝ փոխկապակցվածությունն ուժեղացնելու համար՝ ապահովելով, որ չիպը կարող է կատարել բարդ առաջադրանքներ և բարձր արագություններ:
2. Պասիվացում:Կիրառեք պաշտպանիչ շերտեր՝ չիպը շրջակա միջավայրի վնասից պաշտպանելու համար:
3. Փորձարկում.Չիպը ենթարկեք խիստ փորձարկման՝ համոզվելու համար, որ այն համապատասխանում է բոլոր բնութագրերին:
4. Dicing:Կտրեք վաֆլի առանձին չիպսեր, որոնցից յուրաքանչյուրը պատրաստ է փաթեթավորման և օգտագործելու էլեկտրոնային սարքերում:
Հրապարակման ժամանակը՝ հուլիս-08-2024