Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկայի կիրառումը կիսահաղորդչային դաշտում

Կիսահաղորդիչներ:

Կիսահաղորդչային արդյունաբերությունը հետևում է «մեկ սերնդի տեխնոլոգիայի, մեկ սերնդի գործընթացի և մեկ սերնդի սարքավորումների» արդյունաբերական օրենքին, և կիսահաղորդչային սարքավորումների արդիականացումը և կրկնումը մեծապես կախված է ճշգրիտ մասերի տեխնոլոգիական առաջընթացից: Դրանցից ճշգրիտ կերամիկական մասերը կիսահաղորդչային ճշգրիտ մասերի առավել ներկայացուցչական նյութերն են, որոնք կարևոր կիրառություններ ունեն կիսահաղորդիչների արտադրության մի շարք հիմնական օղակներում, ինչպիսիք են քիմիական գոլորշիների նստեցումը, ֆիզիկական գոլորշիների նստեցումը, իոնների իմպլանտացիան և փորագրումը: Ինչպես օրինակ՝ առանցքակալներ, ուղղորդող ռելսեր, երեսպատումներ, էլեկտրաստատիկ ճարմանդներ, մեխանիկական բեռնաթափման բազուկներ և այլն: Հատկապես սարքավորումների խոռոչի ներսում այն ​​խաղում է աջակցության, պաշտպանության և շեղման դեր:

2023 թվականից ի վեր Նիդեռլանդները և Ճապոնիան նաև հաջորդաբար նոր կանոնակարգեր կամ արտաքին առևտրի որոշումներ են ընդունել վերահսկողության վերաբերյալ՝ ավելացնելով կիսահաղորդչային սարքավորումների արտահանման լիցենզիայի կանոնակարգերը, ներառյալ լիտոգրաֆիկ մեքենաները, և աստիճանաբար ի հայտ է եկել կիսահաղորդիչների հակագլոբալացման միտումը: Մատակարարման շղթայի անկախ վերահսկողության կարևորությունը գնալով ավելի ակնառու է դառնում: Հանդիպելով կիսահաղորդչային սարքավորումների մասերի տեղայնացման պահանջարկի հետ՝ հայրենական ընկերությունները ակտիվորեն նպաստում են արդյունաբերության զարգացմանը: Zhongci Electronics-ը իրականացրել է բարձր տեխնոլոգիական ճշգրիտ մասերի տեղայնացումը, ինչպիսիք են ջեռուցման թիթեղները և էլեկտրաստատիկ ճարմանդները՝ լուծելով կենցաղային կիսահաղորդչային սարքավորումների արդյունաբերության «խցանման» խնդիրը. Dezhi New Materials-ը՝ SiC ծածկված գրաֆիտային հիմքերի և SiC փորագրման օղակների առաջատար տեղական մատակարարը, հաջողությամբ ավարտել է 100 միլիոն յուանի ֆինանսավորումը և այլն…
Բարձր հաղորդունակության սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտեր.

Սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտերը հիմնականում օգտագործվում են էներգաբլոկներում, կիսահաղորդչային սարքերում և մաքուր էլեկտրական մեքենաների (EVs) և հիբրիդային էլեկտրական մեքենաների (HEVs) ինվերտորներում և ունեն հսկայական շուկայական ներուժ և կիրառման հեռանկարներ:

Ներկայումս բարձր ջերմահաղորդունակությամբ սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտի նյութերը առևտրային կիրառությունների համար պահանջում են ջերմային հաղորդունակություն ≥85 W/(m·K), ճկման ուժ ≥650 ՄՊա և ճեղքման ամրություն 5~7MPa·m1/2: Ընկերությունները, որոնք իսկապես կարող են զանգվածաբար արտադրել բարձր ջերմահաղորդականություն սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտեր, հիմնականում Toshiba Group-ը, Hitachi Metals-ը, Japan Electric Chemical-ը, Japan Maruwa-ն և Japan Fine Ceramics-ն են:

Սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտի նյութերի ներքին հետազոտությունները նույնպես որոշակի առաջընթաց են գրանցել: Սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական ենթաշերտի ջերմահաղորդունակությունը, որը պատրաստված է Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd.-ի Beijing Branch-ի ժապավենի ձուլման գործընթացով, կազմում է 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd.-ն հաջողությամբ պատրաստել է սիլիցիումի նիտրիդային կերամիկական հիմք՝ 700-800 ՄՊա ճկման ուժով, կոտրվածքի դիմացկունությամբ ≥8 ՄՊա·մ1/2 և ջերմային հաղորդունակությամբ ≥80W/(m·K) սինթերման մեթոդի և գործընթացի օպտիմալացման միջոցով: