Սիլիցիումի կարբիդի նավակի աջակցության առավելությունները քվարցային նավակի աջակցության համեմատ

Սիլիցիումի կարբիդային նավակի աջակցության և քվարցային նավակի աջակցության հիմնական գործառույթները նույնն են: Սիլիկոնային կարբիդային նավակի աջակցությունը գերազանց կատարում է, բայց բարձր գին: Այն այլընտրանքային հարաբերություն է քվարցային նավակի աջակցության հետ ծանր աշխատանքային պայմաններով մարտկոցների մշակման սարքավորումներում (ինչպիսիք են LPCVD սարքավորումները և բորի դիֆուզիոն սարքավորումները): Սովորական աշխատանքային պայմաններով մարտկոցների մշակման սարքավորումներում, գնային հարաբերությունների շնորհիվ, սիլիցիումի կարբիդը և քվարցային նավակի աջակցությունը դառնում են համակցված և մրցակցող կատեգորիաներ:

① LPCVD-ի և բորի դիֆուզիոն սարքավորումների փոխարինման հարաբերությունները
LPCVD սարքավորումն օգտագործվում է մարտկոցի բջիջների թունելավորման օքսիդացման և պոլիսիլիկոնային շերտի պատրաստման գործընթացում: Աշխատանքային սկզբունք.
Ցածր ճնշման մթնոլորտում, համապատասխան ջերմաստիճանի հետ զուգակցված, քիմիական ռեակցիայի և նստվածքային թաղանթի ձևավորումը ձեռք է բերվում գերբարակ թունելային օքսիդի շերտ և պոլիսիլիկոնային թաղանթ պատրաստելու համար: Թունելային օքսիդացման և լցոնված պոլիսիլիկոնային շերտի պատրաստման գործընթացում նավակի հենարանը ունի բարձր աշխատանքային ջերմաստիճան և սիլիցիումային թաղանթ կտեղադրվի մակերեսի վրա: Քվարցի ջերմային ընդարձակման գործակիցը բավականին տարբերվում է սիլիցիումի գործակիցից։ Վերոնշյալ գործընթացում օգտագործելիս անհրաժեշտ է պարբերաբար թթու վարունգ անել՝ մակերեսին նստած սիլիցիումը հեռացնելու համար, որպեսզի քվարցային նավակի հենարանը չկոտրվի ջերմային ընդարձակման և կծկման պատճառով՝ սիլիցիումի ջերմային ընդլայնման տարբեր գործակցի պատճառով: Հաճախակի թթուների և ցածր բարձր ջերմաստիճանի ուժի պատճառով քվարցային նավակի ամրակը կարճ կյանք ունի և հաճախ փոխարինվում է թունելի օքսիդացման և պոլիսիլիկոնային շերտի պատրաստման գործընթացում, ինչը զգալիորեն մեծացնում է մարտկոցի բջիջի արտադրության արժեքը: Սիլիցիումի կարբիդի ընդլայնման գործակիցը մոտ է սիլիցիումին: Թունելի օքսիդացման և լցոնված պոլիսիլիկոնային շերտի պատրաստման գործընթացում ինտեգրված սիլիցիումի կարբիդային նավակակիրը թթուների կարիք չունի, ունի բարձր ջերմաստիճանի ուժ և երկար սպասարկում և լավ այլընտրանք է քվարցային նավակին:

Բորի ընդլայնման սարքավորումը հիմնականում օգտագործվում է մարտկոցի բջիջի N տիպի սիլիկոնային վաֆլի սուբստրատի վրա բորի տարրերի դոպինգի գործընթացի համար՝ P տիպի թողարկիչը PN հանգույց ձևավորելու համար: Աշխատանքի սկզբունքը բարձր ջերմաստիճանի մթնոլորտում քիմիական ռեակցիայի և մոլեկուլային նստվածքի թաղանթի ձևավորումն է: Ֆիլմի ձևավորումից հետո այն կարող է ցրվել բարձր ջերմաստիճանի տաքացման միջոցով՝ իրականացնելու սիլիկոնային վաֆլի մակերեսի դոպինգ ֆունկցիան: Բորի ընդլայնման սարքավորման բարձր աշխատանքային ջերմաստիճանի պատճառով քվարցային նավակակիրը ունի ցածր բարձր ջերմաստիճանի ուժ և կարճ ծառայության ժամկետ բորի ընդլայնման սարքավորումներում: Ինտեգրված սիլիցիումի կարբիդային նավակակիրը ունի բարձր ջերմաստիճանի ուժ և լավ այլընտրանք է բորի ընդլայնման գործընթացում քվարցային նավակին:

② Փոխարինական հարաբերություններ գործընթացի այլ սարքավորումներում
SiC նավակի հենարաններն ունեն սերտ արտադրական հզորություն և գերազանց կատարում: Դրանց գինը, ընդհանուր առմամբ, ավելի բարձր է, քան քվարցային նավակների հենարանները: Բջիջների վերամշակման սարքավորումների ընդհանուր աշխատանքային պայմաններում SiC նավակների հենարանների և քվարցային նավերի հենարանների միջև ծառայության ժամկետի տարբերությունը փոքր է: Ներքևում գտնվող հաճախորդները հիմնականում համեմատում և ընտրում են գնի և կատարողականի միջև՝ ելնելով իրենց սեփական գործընթացներից և կարիքներից: SiC նավակների հենարանները և քվարցային նավակների հենարանները դարձել են համակցված և մրցունակ: Այնուամենայնիվ, SiC նավակների աջակցության համախառն շահույթը ներկայումս համեմատաբար բարձր է: SiC նավակների աջակցության արտադրության արժեքի նվազմամբ, եթե SiC նավակի աջակցության վաճառքի գինը ակտիվորեն նվազի, դա նաև ավելի մեծ մրցունակություն կստեղծի քվարցային նավակների աջակցության համար:

(2) Օգտագործման հարաբերակցությունը
Բջջային տեխնոլոգիայի երթուղին հիմնականում PERC տեխնոլոգիան է և TOPCon տեխնոլոգիան: PERC տեխնոլոգիայի շուկայական մասնաբաժինը կազմում է 88%, իսկ TOPCon տեխնոլոգիայի մասնաբաժինը 8,3% է: Երկուսի համատեղ շուկայական մասնաբաժինը կազմում է 96,30%:

Ինչպես ցույց է տրված ստորև նկարում.
PERC տեխնոլոգիայի մեջ նավակի հենարանները պահանջվում են ֆոսֆորի առջևի դիֆուզիայի և եռացման գործընթացների համար: TOPCon տեխնոլոգիայի մեջ նավակի հենարանները պահանջվում են առջևի բորի դիֆուզիայի, LPCVD-ի, հետևի ֆոսֆորի դիֆուզիայի և եռացման գործընթացների համար: Ներկայումս սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարանները հիմնականում օգտագործվում են TOPCon տեխնոլոգիայի LPCVD գործընթացում, և դրանց կիրառումը բորի դիֆուզիոն գործընթացում հիմնականում ստուգված է:

Նկար Նավակների հենարանների կիրառումը բջիջների մշակման գործընթացում.

Ծանոթագրություն. PERC և TOPCon տեխնոլոգիաների առջևի և հետևի ծածկույթից հետո դեռ կան քայլեր, ինչպիսիք են էկրան տպագրությունը, սինթերինգը և փորձարկումն ու տեսակավորումը, որոնք չեն ներառում նավակների հենարանների օգտագործումը և նշված չեն վերը նշված նկարում:

(3) Ապագա զարգացման միտում
Ապագայում, սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարանների համապարփակ կատարողական առավելությունների, հաճախորդների շարունակական ընդլայնման և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության ծախսերի կրճատման և արդյունավետության բարելավման ազդեցության ներքո, ակնկալվում է, որ սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարանների շուկայական մասնաբաժինը հետագայում կավելանա:

① LPCVD-ի և բորի դիֆուզիոն սարքավորումների աշխատանքային միջավայրում սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարանների համապարփակ կատարումը ավելի լավ է, քան քվարցը և ունի երկար ծառայության ժամկետ:
② Ընկերության կողմից ներկայացված սիլիցիումի կարբիդային նավակների աջակցության արտադրողների հաճախորդների ընդլայնումը հարթ է: Արդյունաբերության շատ հաճախորդներ, ինչպիսիք են North Huachuang-ը, Songyu Technology-ը և Qihao New Energy-ը, սկսել են օգտագործել սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարաններ:
③ Ծախսերի նվազեցումը և արդյունավետության բարձրացումը միշտ եղել են ֆոտոգալվանային արդյունաբերության նպատակը: Լայնածավալ մարտկոցների բջիջների միջոցով ծախսերի խնայողությունը ֆոտոգալվանային արդյունաբերության ծախսերի կրճատման և արդյունավետության բարձրացման դրսևորումներից մեկն է: Ավելի մեծ մարտկոցի բջիջների միտումով, սիլիցիումի կարբիդային նավակների հենարանների առավելությունները՝ իրենց լավ համապարփակ կատարողականության շնորհիվ, ավելի ակնհայտ կդառնան: