Իզոստատիկ PECVD գրաֆիտ նավակ

Իզոստատիկ PECVD գրաֆիտային նավակ Առաջարկվող պատկեր

Կարճ նկարագրություն.

Izostatic PECVD գրաֆիտային նավակը լայնորեն օգտագործվում է կիսահաղորդիչների արտադրության տարբեր օղակներում, ինչպիսիք են պոլիսիլիկոնային թաղանթի նստեցումը, օքսիդ ֆիլմի նստեցումը, նիտրիդային ֆիլմի նստեցումը և այլն:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

SEMICERA isostatic PECVD գրաֆիտային նավը բարձր մաքրության, բարձր խտության գրաֆիտի արտադրանք է, որը նախատեսված է PECVD (պլազմայի ուժեղացված քիմիական գոլորշիների նստեցման) գործընթացում վաֆլի աջակցության համար: SEMICERA-ն օգտագործում է առաջադեմ իզոստատիկ սեղմման տեխնոլոգիա՝ ապահովելու համար, որ գրաֆիտի նավն ունի գերազանց բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն, կոռոզիոն դիմադրություն, ծավալային կայունություն և լավ ջերմային հաղորդունակություն, ինչը կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացում անփոխարինելի սպառվող նյութ է:

SEMICERA իզոստատիկ PECVD գրաֆիտային նավն ունի հետևյալ առավելությունները.

▪ Բարձր մաքրություն. գրաֆիտի նյութը ունի բարձր մաքրություն և ցածր կեղտոտ պարունակություն՝ վաֆլի մակերեսի աղտոտումից խուսափելու համար:

▪ Բարձր խտություն. բարձր խտություն, բարձր մեխանիկական ուժ, կարող է դիմակայել բարձր ջերմաստիճանին և բարձր վակուումային միջավայրին:

▪ Լավ ծավալային կայունություն. փոքր չափերի փոփոխություն բարձր ջերմաստիճանում՝ գործընթացի կայունությունն ապահովելու համար:

▪ Գերազանց ջերմային հաղորդունակություն. արդյունավետորեն փոխանցեք ջերմությունը՝ կանխելու վաֆլի գերտաքացումը:

▪ Ուժեղ կոռոզիոն դիմադրություն. կարող է դիմակայել տարբեր քայքայիչ գազերի և պլազմայի էրոզիային:

Կատարման պարամետր	կիսամյակներ	SGL R6510	Կատարման պարամետր
Զանգվածային խտություն (գ/սմ3)	1.91	1.83	1.85
Ճկման ուժ (MPa)	63	60	49
Սեղմման ուժ (MPa)	135	130	103
Ափի կարծրություն (HS)	70	64	60
Ջերմային ընդարձակման գործակիցը (10-6/K)	85	105	130
Ջերմային ընդարձակման գործակիցը (10-6/K)	5.85	4.2	5.0
Դիմադրողականություն (μΩm)	11-13	13	10

Մեզ ընտրելու առավելությունները.
▪ Նյութերի ընտրություն. արտադրանքի որակն ապահովելու համար օգտագործվում են բարձր մաքրության գրաֆիտային նյութեր:
▪ Մշակման տեխնոլոգիա. Իզոստատիկ սեղմումը օգտագործվում է արտադրանքի խտությունը և միատեսակությունը ապահովելու համար:
▪ Չափի հարմարեցում. տարբեր չափերի և ձևերի գրաֆիտային նավակները կարող են հարմարեցվել հաճախորդի կարիքներին համապատասխան:
▪ Մակերեւութային մշակում. Տարբեր գործընթացի պահանջները բավարարելու համար տրամադրվում են մակերեսային մշակման մի շարք մեթոդներ, ինչպիսիք են սիլիցիումի կարբիդը, բորի նիտրիդը և այլն: