Semicera-ն ներկայացնում է բարձրորակ սովորույթսիլիցիումի կարբիդի կոնսերվային թիակներստեղծված կիսահաղորդիչների արտադրության գործընթացները բարձրացնելու համար: ՆորարարականըSiC թիակդիզայնը ապահովում է բացառիկ ամրություն և բարձր ջերմային դիմադրություն՝ դարձնելով այն կարևոր բաղադրիչ բարձր ջերմաստիճանի դժվար միջավայրերում վաֆլի մշակման համար:
ԱյնՍիլիցիումի կարբիդի թիակկառուցված է ծայրահեղ ջերմային ցիկլերին դիմակայելու համար՝ պահպանելով կառուցվածքային ամբողջականությունը՝ ապահովելով վաֆլի հուսալի տեղափոխում կիսահաղորդիչների արտադրության կրիտիկական փուլերում: Բարձրագույն մեխանիկական ուժով սավաֆլի նավակնվազագույնի է հասցնում վաֆլիների վնասման ռիսկը՝ հանգեցնելով ավելի բարձր բերքատվության և արտադրության կայուն որակի:
Semicera-ի SiC թիակի հիմնական նորամուծություններից մեկը կայանում է նրա անհատական դիզայնի ընտրանքների մեջ: Հարմարեցված է հատուկ արտադրական կարիքները բավարարելու համար՝ թիակն առաջարկում է ճկունություն՝ ինտեգրվելու տարբեր սարքավորումների կարգավորումներին՝ դարձնելով այն իդեալական լուծում ժամանակակից արտադրական գործընթացների համար: Թեթև, բայց ամուր կառուցվածքը թույլ է տալիս հեշտ բեռնաթափվել և կրճատել գործառնական ժամանակը՝ նպաստելով կիսահաղորդիչների արտադրության արդյունավետության բարձրացմանը:
Բացի իր ջերմային և մեխանիկական հատկություններից,Սիլիցիումի կարբիդի թիակապահովում է գերազանց քիմիական դիմադրություն, ինչը թույլ է տալիս հուսալիորեն գործել նույնիսկ խիստ քիմիական միջավայրում: Սա հատկապես հարմար է դարձնում այն օգտագործելու համար փորագրման, նստեցման և բարձր ջերմաստիճանի մշակման գործընթացներում, որտեղ վաֆլի նավակի ամբողջականության պահպանումը կարևոր է բարձրորակ արդյունքներ ապահովելու համար:
| Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները | |
| Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
| Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C) | 1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր) |
| SiC բովանդակություն | > 99.96% |
| Անվճար Si բովանդակություն | < 0,1% |
| Զանգվածային խտություն | 2,60-2,70 գ/սմ3 |
| Ակնհայտ ծակոտկենություն | < 16% |
| Սեղմման ուժը | > 600 ՄՊա |
| Սառը ճկման ուժ | 80-90 ՄՊա (20°C) |
| Տաք ճկման ուժ | 90-100 ՄՊա (1400°C) |
| Ջերմային ընդլայնում @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ջերմահաղորդականություն @1200°C | 23 W/m•K |
| Էլաստիկ մոդուլ | 240 ԳՊա |
| Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Չափազանց լավ |
