Semicera բարձր մաքրությունՍիլիկոնային կարբիդ թիակայն մանրակրկիտ նախագծված է՝ բավարարելու կիսահաղորդիչների արտադրության ժամանակակից գործընթացների խիստ պահանջները: ՍաSiC Cantilever Paddleգերազանցում է բարձր ջերմաստիճանի միջավայրերում՝ առաջարկելով անզուգական ջերմային կայունություն և մեխանիկական ամրություն: SiC Cantilever կառուցվածքը կառուցված է ծայրահեղ պայմաններին դիմակայելու համար՝ ապահովելով վաֆլի հուսալի մշակում տարբեր գործընթացների ընթացքում:
-ի հիմնական նորամուծություններից մեկըSiC թիակնրա թեթև, բայց ամուր դիզայնն է, որը թույլ է տալիս հեշտ ինտեգրվել գոյություն ունեցող համակարգերին: Դրա բարձր ջերմային հաղորդունակությունը օգնում է պահպանել վաֆլի կայունությունը կրիտիկական փուլերում, ինչպիսիք են փորագրումը և նստեցումը, նվազագույնի հասցնելով վաֆլի վնասման վտանգը և ապահովելով արտադրության ավելի բարձր եկամտաբերություն: Բարձր խտության սիլիցիումի կարբիդի օգտագործումը թիակների կառուցվածքում մեծացնում է դրա դիմադրությունը մաշվածության նկատմամբ՝ ապահովելով երկարատև շահագործման ժամկետ և նվազեցնելով հաճախակի փոխարինման անհրաժեշտությունը:
Semicera-ն մեծ շեշտ է դնում նորարարության վրա՝ մատուցելով աSiC Cantilever Paddleորը ոչ միայն համապատասխանում է, այլեւ գերազանցում է ոլորտի չափանիշները: Այս թիակը օպտիմիզացված է կիսահաղորդչային տարբեր ծրագրերում օգտագործելու համար՝ նստվածքից մինչև փորագրություն, որտեղ ճշգրտությունն ու հուսալիությունը կարևոր են: Ինտեգրելով այս առաջադեմ տեխնոլոգիան՝ արտադրողները կարող են ակնկալել բարելավված արդյունավետություն, սպասարկման ծախսերի կրճատում և արտադրանքի կայուն որակ:
| Վերաբյուրեղացված սիլիցիումի կարբիդի ֆիզիկական հատկությունները | |
| Սեփականություն | Տիպիկ արժեք |
| Աշխատանքային ջերմաստիճան (°C) | 1600°C (թթվածնով), 1700°C (նվազեցնող միջավայր) |
| SiC բովանդակություն | > 99.96% |
| Անվճար Si բովանդակություն | < 0,1% |
| Զանգվածային խտություն | 2,60-2,70 գ/սմ3 |
| Ակնհայտ ծակոտկենություն | < 16% |
| Սեղմման ուժը | > 600 ՄՊա |
| Սառը ճկման ուժ | 80-90 ՄՊա (20°C) |
| Տաք ճկման ուժ | 90-100 ՄՊա (1400°C) |
| Ջերմային ընդլայնում @1500°C | 4.70 10-6/°C |
| Ջերմահաղորդականություն @1200°C | 23 W/m•K |
| Էլաստիկ մոդուլ | 240 ԳՊա |
| Ջերմային ցնցումների դիմադրություն | Չափազանց լավ |
