Բարձր մաքրության SiC կրիչ / ընկալիչ

Բարձր մաքրության SiC կրիչի/սուսեպտորի ընդգծված պատկեր

Կարճ նկարագրություն.

Սիլիցիումի կարբիդի կրող սկավառակը հայտնի է նաև որպես SIC սկուտեղ, սիլիցիումի կարբիդի փորագրման սկավառակ, ICP փորագրման սկավառակ: Սիլիկոնային կարբիդի սկուտեղ LED փորագրման համար (SiC սկուտեղ) φ600 մմ խորը սիլիկոնային փորագրման հատուկ աքսեսուար է (ICP փորագրման մեքենա):

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Նկարագրություն

Սիլիցիումի կարբիդային կերամիկան ունի հիանալի մեխանիկական հատկություններ սենյակային ջերմաստիճանում, ինչպիսիք են բարձր ամրությունը, բարձր կարծրությունը, բարձր առաձգական մոդուլը և այլն, այն նաև ունի գերազանց կայունություն բարձր ջերմաստիճանի դեպքում, ինչպիսիք են բարձր ջերմային հաղորդունակությունը, ցածր ջերմային ընդլայնման գործակիցը և լավ հատուկ կոշտություն և օպտիկական: վերամշակման կատարումը:
Դրանք հատկապես հարմար են ինտեգրալային միացումների սարքավորումների համար ճշգրիտ կերամիկական մասերի արտադրության համար, ինչպիսիք են լիտոգրաֆիայի մեքենաները, որոնք հիմնականում օգտագործվում են SiC կրիչի/սենսորի, SiC վաֆլի նավակի, ծծող սկավառակի, ջրի հովացման ափսեի, ճշգրիտ չափիչ ռեֆլեկտորի, վանդակաճաղի և այլ կերամիկական կառուցվածքային մասերի արտադրության համար։

կրող 2

կրող 3

կրող 4

Առավելությունները

Բարձր ջերմաստիճանի դիմադրություն. նորմալ օգտագործում 1800 ℃
Բարձր ջերմային հաղորդունակություն՝ համարժեք գրաֆիտի նյութին
Բարձր կարծրություն. կարծրությունը զիջում է միայն ալմաստին՝ բորի նիտրիդին
Կոռոզիոն դիմադրություն. ուժեղ թթուները և ալկալիները կոռոզիայից չեն ունենում, կոռոզիոն դիմադրությունը ավելի լավ է, քան վոլֆրամի կարբիդը և կավահողին
Թեթև քաշը՝ ցածր խտություն, մոտ ալյումինին
Ոչ մի դեֆորմացիա՝ ջերմային ընդարձակման ցածր գործակից
Ջերմային ցնցումների դիմադրություն. այն կարող է դիմակայել ջերմաստիճանի կտրուկ փոփոխություններին, դիմակայել ջերմային ցնցմանը և ունի կայուն կատարում
Սիլիցիումի կարբիդի կրիչները, ինչպիսիք են sic etching carrier-ը, ICP etching susceptor-ը, լայնորեն օգտագործվում են կիսահաղորդչային CVD-ի, վակուումային ցրման և այլնի մեջ: Մենք կարող ենք հաճախորդներին տրամադրել սիլիցիումի և սիլիցիումի կարբիդային նյութերի հարմարեցված վաֆլի կրիչներ՝ տարբեր ծրագրերի համար:

Առավելությունները

Սեփականություն	Արժեք	Մեթոդ
Խտություն	3.21 գ/ք	Լվացարան-բոց և հարթություն
Հատուկ ջերմություն	0,66 Ջ/գ °Կ	Իմպուլսային լազերային ֆլեշ
Ճկման ուժ	450 ՄՊա560 ՄՊա	4 կետի թեքում, RT4 կետի թեքում, 1300 °
Կոտրվածքի ամրություն	2,94 ՄՊա մ1/2	Միկրոինտացիա
Կարծրություն	2800 թ	Vicker's, 500 գ բեռ
Elastic ModulusYoung's Modulus	450 GPa430 GPa	4 pt bend, RT4 pt bend, 1300 °C
Հացահատիկի չափը	2 - 10 մկմ	SEM

Ընկերության պրոֆիլը

WeiTai Energy Technology Co., Ltd.-ն առաջադեմ կիսահաղորդչային կերամիկայի առաջատար մատակարարն է և միակ արտադրողը Չինաստանում, որը կարող է միաժամանակ ապահովել բարձր մաքրության սիլիցիումի կարբիդ կերամիկա (հատկապես վերաբյուրեղացված SiC) և CVD SiC ծածկույթ: Բացի այդ, մեր ընկերությունը հավատարիմ է նաև կերամիկական ոլորտներին, ինչպիսիք են կավահողը, ալյումինի նիտրիդը, ցիրկոնիան և սիլիցիումի նիտրիդը և այլն:

Մեր հիմնական արտադրանքը, ներառյալ՝ սիլիցիումի կարբիդային փորագրման սկավառակ, սիլիցիումի կարբիդային նավակի քարշակ, սիլիցիումի կարբիդ վաֆլի նավակ (ֆոտովոլտային և կիսահաղորդչային), սիլիցիումի կարբիդային վառարանի խողովակ, սիլիցիումի կարբիդի կոնսերվատորի թիակ, սիլիցիումի կարբիդային ճարմանդներ, սիլիցիումի կարբիդային փնջեր, ինչպես նաև C ծածկույթ: Ապրանքները հիմնականում օգտագործվում են կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերություններում, ինչպիսիք են բյուրեղների աճեցման, էպիտաքսիայի, փորագրման, փաթեթավորման, ծածկույթի և դիֆուզիոն վառարանների սարքավորումները և այլն:
մոտ (2)