սիլիցիումի կարբիդ Կերամիկական էֆեկտոր վաֆլի տեղափոխման համար տարբեր կիսահաղորդչային գործընթացներում

Բնութագրերը և առավելությունները

1. Ճշգրիտ չափերը և ջերմային կայունությունը

2. Բարձր կոնկրետ կոշտություն և գերազանց ջերմային միատեսակություն, երկարաժամկետ օգտագործումը հեշտ չէ թեքել դեֆորմացիան;

3. Այն ունի հարթ մակերես և լավ մաշվածության դիմադրություն, այդպիսով ապահով կերպով վարում է չիպը առանց մասնիկների աղտոտման:

4. Սիլիցիումի կարբիդի դիմադրողականություն 106-108Ω-ով, ոչ մագնիսական, հակա-ESD սպեցիֆիկացիայի պահանջներին համապատասխան; Այն կարող է կանխել չիպի մակերեսի վրա ստատիկ էլեկտրականության կուտակումը

5. Լավ ջերմային հաղորդակցություն, ցածր ընդլայնման գործակից: