4 դյույմ SiC ենթաշերտ N-տիպ

Կարճ նկարագրություն.

Semicera-ն առաջարկում է 4H-8H SiC վաֆլիների լայն տեսականի: Երկար տարիներ մենք եղել ենք կիսահաղորդչային և ֆոտոգալվանային արդյունաբերության արտադրանքի արտադրող և մատակարար: Մեր հիմնական արտադրանքը ներառում է. TaC ծածկույթներ. Ծածկելով եվրոպական և ամերիկյան շուկաների մեծ մասը: Մենք անհամբեր սպասում ենք լինել ձեր երկարաժամկետ գործընկերը Չինաստանում:

Նամակ ուղարկեք մեզ

Ապրանքի մանրամասն

Ապրանքի պիտակներ

Սիլիցիումի կարբիդ (SiC) միաբյուրեղային նյութն ունի մեծ ժապավենի բացվածքի լայնություն (~Si 3 անգամ), բարձր ջերմահաղորդականություն (~Si 3,3 անգամ կամ GaAs 10 անգամ), էլեկտրոնների հագեցվածության բարձր միգրացիայի արագություն (~Si 2,5 անգամ), բարձր խզման էլեկտրականություն։ դաշտ (~Si 10 անգամ կամ GaAs 5 անգամ) և այլ ակնառու բնութագրիչներ:

Semicera Energy-ն կարող է հաճախորդներին տրամադրել բարձրորակ Conductive (Conductive), Semi-insulating (Semi-insulating), HPSI (High Purity semi-insulating) սիլիցիումի կարբիդային սուբստրատ; Բացի այդ, մենք կարող ենք հաճախորդներին տրամադրել համասեռ և տարասեռ սիլիցիումի կարբիդի էպիտաքսիալ թիթեղներ; Մենք կարող ենք նաև հարմարեցնել էպիտաքսիալ թերթիկը` ըստ հաճախորդների հատուկ կարիքների, և չկա նվազագույն պատվերի քանակ:

Նյութեր	Արտադրություն	Հետազոտություն	Կեղծիք
Բյուրեղյա պարամետրեր
Պոլիտիպ	4H
Մակերեւույթի կողմնորոշման սխալ	<11-20 >4±0,15°
Էլեկտրական պարամետրեր
Դոպանտ	n-տիպի ազոտ
Դիմադրողականություն	0,015-0,025ohm·սմ
Մեխանիկական պարամետրեր
Տրամագիծը	99,5 - 100 մմ
Հաստություն	350±25 մկմ
Առաջնային հարթ կողմնորոշում	[1-100]±5°
Առաջնային հարթ երկարություն	32,5±1,5 մմ
Երկրորդական հարթ դիրք	90° CW առաջնային հարթակից ±5°: սիլիկոն՝ դեմքով դեպի վեր
Երկրորդական հարթ երկարություն	18±1,5 մմ
TTV	≤5 մկմ	≤10 մկմ	≤20 մկմ
LTV	≤2 մկմ (5 մմ*5 մմ)	≤5 մկմ (5 մմ*5 մմ)	NA
Խոնարհվել	-15 մկմ ~ 15 մկմ	-35 մկմ ~ 35 մկմ	-45 մկմ ~ 45 մկմ
Շեղել	≤20 մկմ	≤45 մկմ	≤50 մկմ
Առջևի (Si-դեմքի) կոշտություն (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Կառուցվածք
Միկրոպողովակների խտությունը	≤1 էա/սմ2	≤5 էա/սմ2	≤10 էա/սմ2
Մետաղական կեղտեր	≤5E10 ատոմ/սմ2		NA
BPD	≤1500 էա/սմ2	≤3000 էա/սմ2	NA
TSD	≤500 էա/սմ2	≤1000 էա/սմ2	NA
Առջևի որակ
Ճակատ	Si
Մակերեւույթի ավարտ	Si-face CMP
Մասնիկներ	≤60ea/վաֆլի (չափը≥0,3մկմ)	NA
Քերծվածքներ	≤2ea/մմ. Կուտակային երկարություն ≤Տրամագիծ	Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ	NA
Նարնջի կեղև/փոսեր/բծեր/կտրվածքներ/ ճաքեր/աղտոտվածություն	Ոչ մեկը		NA
Եզրային չիպսեր / անցքեր / կոտրվածք / վեցանկյուն թիթեղներ	Ոչ մեկը		NA
Պոլիտիպ տարածքներ	Ոչ մեկը	Կուտակային տարածք≤20%	Կուտակային տարածք≤30%
Առջևի լազերային նշում	Ոչ մեկը
Վերադառնալ որակ
Հետևի ավարտ	C-դեմքի CMP
Քերծվածքներ	≤5ea/mm,Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ	NA
Հետևի թերություններ (եզրերի չիպսեր/հատումներ)	Ոչ մեկը
Մեջքի կոպտություն	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Հետևի լազերային նշում	1 մմ (վերին եզրից)
Եզր
Եզր	Շամֆեր
Փաթեթավորում
Փաթեթավորում	Ներքին պարկը լցված է ազոտով, իսկ արտաքին պարկը վակուում է: Multi-wafer ձայներիզ, epi-ready.
*Ծանոթագրություններ. «NA» նշանակում է ոչ մի հարցում: Չնշված կետերը կարող են վերաբերել ԿԻՍԱՍՊԱՍ-ին: