Semicera-ի10x10 մմ Ոչ բևեռ M-plane ալյումինե ենթաշերտմանրակրկիտ նախագծված է՝ բավարարելու առաջադեմ օպտոէլեկտրոնային հավելվածների խիստ պահանջները: Այս ենթաշերտը առանձնանում է ոչ բևեռային M հարթության կողմնորոշմամբ, որը կարևոր է բևեռացման էֆեկտները նվազեցնելու համար այնպիսի սարքերում, ինչպիսիք են LED-ները և լազերային դիոդները, ինչը հանգեցնում է արդյունավետության և արդյունավետության բարձրացման:
Այն10x10 մմ Ոչ բևեռ M-plane ալյումինե ենթաշերտպատրաստված է բացառիկ բյուրեղային որակով՝ ապահովելով թերությունների նվազագույն խտություն և բարձր կառուցվածքային ամբողջականություն: Սա այն դարձնում է իդեալական ընտրություն բարձրորակ III-նիտրիդային թաղանթների էպիտաքսիալ աճի համար, որոնք էական նշանակություն ունեն հաջորդ սերնդի օպտոէլեկտրոնային սարքերի մշակման համար:
Semicera-ի ճշգրիտ ճարտարագիտությունը երաշխավորում է, որ յուրաքանչյուրը10x10 մմ Ոչ բևեռ M-plane ալյումինե ենթաշերտառաջարկում է հետևողական հաստություն և մակերևույթի հարթություն, որոնք շատ կարևոր են ֆիլմի միատեսակ նստեցման և սարքի արտադրության համար: Բացի այդ, ենթաշերտի կոմպակտ չափը այն դարձնում է հարմար ինչպես հետազոտական, այնպես էլ արտադրական միջավայրերի համար, ինչը թույլ է տալիս ճկուն օգտագործել տարբեր ծրագրերում: Իր գերազանց ջերմային և քիմիական կայունությամբ այս ենթաշերտը հուսալի հիմք է ապահովում գերժամանակակից օպտոէլեկտրոնային տեխնոլոգիաների զարգացման համար:
| Նյութեր | Արտադրություն | Հետազոտություն | Կեղծիք |
| Բյուրեղյա պարամետրեր | |||
| Պոլիտիպ | 4H | ||
| Մակերեւույթի կողմնորոշման սխալ | <11-20 >4±0,15° | ||
| Էլեկտրական պարամետրեր | |||
| Դոպանտ | n-տիպի ազոտ | ||
| Դիմադրողականություն | 0,015-0,025ohm·սմ | ||
| Մեխանիկական պարամետրեր | |||
| Տրամագիծը | 150,0±0,2 մմ | ||
| Հաստություն | 350±25 մկմ | ||
| Առաջնային հարթ կողմնորոշում | [1-100]±5° | ||
| Առաջնային հարթ երկարություն | 47,5±1,5 մմ | ||
| Երկրորդական բնակարան | Ոչ մեկը | ||
| TTV | ≤5 մկմ | ≤10 մկմ | ≤15 մկմ |
| LTV | ≤3 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤5 մկմ (5 մմ*5 մմ) | ≤10 մկմ (5 մմ*5 մմ) |
| Խոնարհվել | -15 մկմ ~ 15 մկմ | -35 մկմ ~ 35 մկմ | -45 մկմ ~ 45 մկմ |
| Շեղել | ≤35 մկմ | ≤45 մկմ | ≤55 մկմ |
| Առջևի (Si-դեմքի) կոշտություն (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Կառուցվածք | |||
| Միկրոպողովակների խտությունը | <1 էա/սմ2 | <10 էա/սմ2 | <15 ea/cm2 |
| Մետաղական կեղտեր | ≤5E10 ատոմ/սմ2 | NA | |
| BPD | ≤1500 էա/սմ2 | ≤3000 էա/սմ2 | NA |
| TSD | ≤500 էա/սմ2 | ≤1000 էա/սմ2 | NA |
| Առջևի որակ | |||
| Ճակատ | Si | ||
| Մակերեւույթի ավարտ | Si-face CMP | ||
| Մասնիկներ | ≤60ea/վաֆլի (չափը≥0,3մկմ) | NA | |
| Քերծվածքներ | ≤5էա/մմ. Կուտակային երկարություն ≤Տրամագիծ | Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA |
| Նարնջի կեղև/փոսեր/բծեր/կտրվածքներ/ ճաքեր/աղտոտվածություն | Ոչ մեկը | NA | |
| Եզրային չիպսեր / անցքեր / կոտրվածք / վեցանկյուն թիթեղներ | Ոչ մեկը | ||
| Պոլիտիպային տարածքներ | Ոչ մեկը | Կուտակային տարածք≤20% | Կուտակային տարածք≤30% |
| Առջևի լազերային նշում | Ոչ մեկը | ||
| Վերադառնալ որակ | |||
| Հետևի ավարտ | C-դեմքի CMP | ||
| Քերծվածքներ | ≤5ea/mm,Կուտակային երկարություն≤2*Տրամագիծ | NA | |
| Հետևի թերություններ (եզրերի չիպսեր/հատումներ) | Ոչ մեկը | ||
| Մեջքի կոպտություն | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Հետևի լազերային նշում | 1 մմ (վերին եզրից) | ||
| Եզր | |||
| Եզր | Շամֆեր | ||
| Փաթեթավորում | |||
| Փաթեթավորում | Epi-ready վակուումային փաթեթավորմամբ Մուլտի վաֆլի կասետային փաթեթավորում | ||
| *Ծանոթագրություններ. «NA» նշանակում է ոչ մի հարցում: Չնշված կետերը կարող են վերաբերել ԿԻՍԱՍՊԱՍ-ին: | |||
